“微電子器件”課程三元教學法的研究

劉繼芝, 廖昌俊, 任 敏, 張慶中, 陳 勇

(電子科技大學 1. 微電子與固體電子學院； 2. 通信與信息工程學院， 四川 成都 610054)

“微電子器件”課程三元教學法的研究

劉繼芝1, 廖昌俊2, 任 敏1, 張慶中1, 陳 勇1

(電子科技大學 1. 微電子與固體電子學院； 2. 通信與信息工程學院， 四川 成都 610054)

本文介紹在“微電子器件”的課堂教學中，將課堂講授、實驗測試和器件仿真三種教學方法有效地結合起來，形成“微電子器件”課程的三元教學新方法，使學生從被動學習變?yōu)橹鲃拥摹?chuàng)造性的學習，有效加深學生對器件物理機制的理解，提高教學質量。本文對“微電子器件”課程教學有一定的指導作用。

微電子器件；三元教學法；教學方法

0 引言

“微電子器件”是我校電子科學與技術(微電子方向)專業(yè)本科生的專業(yè)核心課程，包括課堂講授環(huán)節(jié)和學生實驗環(huán)節(jié)，分別為64學時和12學時。課堂教學采用文獻[1]作為教材，授課內(nèi)容包括：半導體基本方程、二極管、雙極型晶體管、絕緣柵場效應晶體管和異質結型晶體管的基本理論。

目前，國內(nèi)外“微電子器件”課程的授課方式都是以課堂講授為主，實驗驗證為輔。該教學方法存在如下問題：

(1)學生在該教學模式下的學習，是一種被動的、沒有創(chuàng)新性的學習。

(2)課堂講授和實驗驗證之間關系不夠緊密。現(xiàn)有實驗采用封裝好的器件在特定的偏置條件下測試器件參數(shù)，造成了學生對器件的內(nèi)部結構沒有清晰的認識，對器件工作原理難以深刻的理解。

除了上述的課堂講授和實驗驗證的兩種教學手段以外，目前還可利用器件仿真軟件，通過調整器件的結構參數(shù)和偏置條件來實現(xiàn)不同的電學性能，達到形象生動地加深學生對器件工作原理理解的目的。……