石墨烯氧化物濕敏特性研究

摘要 在聲表面波諧振器件上滴定石墨烯氧化物，制成了一種基于石墨烯氧化物薄膜的聲表面波濕敏檢測器件。此器件表現出優異的濕敏傳感性能，在寬濕度范圍內（10%～98% RH），其靈敏度高達200 kHz/%RH以上； 線性度超過0.9； 溫度系數小于0.5% RH/°C； 吸濕與脫濕響應速度均小于2 s。結果表明： 石墨烯氧化物具有優良的濕度敏感特性，有望應用于高性能濕度傳感器的開發。

關鍵詞 濕度傳感器； 聲表面波； 石墨烯氧化物