北方華創爭上游

方祎　李雅潔

10月，北京一家半導體設備公司，將迎來自己的21歲生日。這家名為北方華創的公司，目前市值1500億元，是半導體產業上游的巨頭。

半導體設備，是整個行業的關鍵環節，具有高壁壘、長積累、跨學科的特點。短期砸錢造不出奇跡。

早在國內產業發展初期，北京華創就開始布局半導體設備，經過20余年的積累，打響名號。

積累深厚

北方華創由兩家半導體設備公司重組而來。

一家是老牌設備企業北方微電子，成立于2001年10月，主要生產刻蝕、沉積設備。另一家為七星電子，研發生產清洗機、氧化爐、原子層沉積設備（ALD）等半導體設備，制造經驗豐富。

2016年，七星電子與北方微電子重組，一年后，新公司更名為“北方華創”。

團隊領頭人實力強大。董事長趙晉榮，畢業于西安電子科技大學，高級工程師，歷任七星電子總經理、北方微電子總裁、國家“100納米高密度等離子刻蝕機”項目總設計師。

這家公司的發展，離不開芯片大基金的支持。

2014年，國家集成電路產業投資基金成立，一期募資1387億元，二期2041億元。

2016年，大基金一期斥資6億元，參與北方華創的定增。3年后，大基金一期再度投資9.2億元。2021年，大基金二期投資15億元，認購493.42萬股。

值得一提的是，大基金曾在2020年，減持北方華創990萬股。目前大基金為北方華創第三大股東，合計持有8.4%的公司股份。

半導體下游公司中，長江存儲正在進行新一輪擴產，合肥長鑫也在加速采購國產設備。比如長江存儲于2021年啟動二期項目，預計產能將達到10萬片/月，對設備需求量大。

趕上風口，該公司業績大增。

國際半導體產業協會（SEMI）最新報告顯示，2021年全球半導體制造設備銷售額增至1026億美元，創歷史新高，年增44%，中國為全球最大的半導體設備市場。

2022年上半年，北方華創營收54.44億元，同比增長50.87%;凈利潤7.55億元，同比增長143.16%。

值得注意的是，北方華創的半導體設備，部分重要零部件依賴國外廠商，主要來自美國、日本和歐洲。一旦貿易爭端加劇，存在零部件斷供風險。

貝恩公司在《半導體行業白皮書》中表示，面對復雜的國際局勢，半導體設備公司一是可以借助本土優勢，及時響應下游客戶需求，鍛造與國際廠商差異化的服務能力;二是要關注潛在的收購機會，垂直整合強化現有業務，或通過橫向收購，補足短板，擴大版圖。

技術攻關

半導體裝備主要用于制造晶圓，包括擴散、光刻、沉積、離子注入、刻蝕、拋光等步驟。

北方華創深耕行業20余年，已覆蓋除光刻外的全部工藝，尤其擅長沉積、刻蝕。

沉積，是指讓金屬、氧化物、氮化物等不同物質附著于襯底材料表面。根據工作原理差異，可分為物理氣相沉積（PVD）設備、化學氣相沉積（CVD）設備等。

刻蝕，是指將晶圓表面刻蝕形成3D圖形，分為濕蝕刻與干蝕刻。清洗工藝主要用于去除芯片制造中上一道工序所遺留的各類污染物。

北方華創自主研發的金屬硬掩膜PVD系統，已實現我國高端集成電路PVD設備“零的突破”。

等離子干法刻蝕技術，穩定性強，北方華創將其應用于薄膜微細加工，推出8英寸、12英寸的刻蝕機，可應用于90-40納米、40-28納米等不同制程的集成電路。

2018年，其全資子公司北方華創微電子以1500萬美元的價格，收購美國清洗設備公司 Akrion，增加半導體清洗設備產品線。

在清洗工藝上，北方華創采用濕法腐蝕技術，研發出多種類型的槽式清洗設備與單片清洗設備。晶圓加工第一道工藝所需的氧化/擴散爐、退火爐，同樣被納入北方華創的產線。

截至2021年底，北方華創已累計申請專利5900余件，累計獲得授權專利3300余件。

北方華創的沉積與刻蝕設備，拿到長江存儲、華虹集團的訂單。

長江證券研報顯示，北方華創的熱處理設備，在長江存儲的中標率高達56.74%，截至今年5月，公司刻蝕設備累計出貨超2000臺。

為了提高技術水平，擴展產品線，公司研發投入加大。財報顯示，2021年，北方華創的研發投入達28.92億元，同比增長79.85%;研發人員增長至2044人。

這家經驗老道的企業，重金投入研發，激發創新，有望抹平差距，走出去和半導體設備巨頭競爭。