ITZO薄膜制備工藝的研究進展

張世亮 孫源爽 孫琿 楊濤繁

摘 要：近年來，人類社會加速進入信息化時代，可穿戴設備等各類光電器件在生活實踐中逐漸推廣普及。透明導電氧化物薄膜，即TCO薄膜，作為光電器件制備的關鍵材料，在此類產(chǎn)品中具有至關重要的作用。為了提高現(xiàn)有透明導電薄膜材料的光電性能，大量的新型透明導電材料，如ITZO，被開發(fā)出來。文章介紹了ITZO透明導電材料的研究背景，闡述透明導電薄膜的四種制備方法，并對ITZO薄膜的光電性能和應用進行了分析。

關鍵詞：透明導電薄膜;ITZO;薄膜制備工藝;薄膜晶體管

中圖分類號：TB383 文獻標識碼：A

寬帶隙、良好的導電性、光學透明度高等是良好的透明導電氧化物（TCOs）所具備的優(yōu)點，其可以廣泛應用于多種光電器件中，如太陽能電池、氣體敏感器件、薄膜晶體管（TFT）、平板液晶顯示器、LED顯示屏等[1]。摻雜的氧化銦、氧化錫和氧化鋅系統(tǒng)具有良好的光學性質(zhì)和電學性質(zhì)，能夠在較低溫度下制備，時間穩(wěn)定性也較好。現(xiàn)在的透明導電氧化物薄膜一般由其摻雜化合物制成。隨著電子科技的不斷發(fā)展，以及對電子產(chǎn)品性能要求的不斷提高，人們在傳統(tǒng)的透明導電氧化物薄膜的基礎上發(fā)掘了新型的非晶透明氧化物半導體。其中，ITZO（非晶銦錫鋅氧化物）薄膜表現(xiàn)出極大的優(yōu)勢。其具有高亮度、高透射率、導電性和基材附著性良好、化學穩(wěn)定性好的優(yōu)點，在未來的光電器件應用中具有極大的潛力[2]。

1 透明導電薄膜的光電性能

對于傳統(tǒng)的半導體材料，薄膜的透明性與導電性不可兼得。……