晶圓測試生產線晶片操作的方法

馬曉營

摘 要：本文主要研究在晶圓測試生產線上是正確地操作晶片和正確地使用晶片操作設備的方法。

關鍵詞：晶圓；測試生產線；晶片操作

半導體行業對于晶片制造過程中，晶片的接觸、輸送等操作都有著非常嚴格的要求，對所有接觸晶片的人員、裝置和設備，做了明確而詳細的規定和指導，以確保晶片在制造過程中的清潔和安全。

1. 晶片操作設備

操作人員在任何時候操作晶片時，都必須遵守潔凈室規范，并且按規定正確使用晶片操作設備。無論是一片或是多片晶片，必須使用片匣存儲或傳送，而裝有晶片的片匣必須存儲在物料盒里，并使用物料盒進行傳送。通常需要使用晶片傳送裝置將一片匣晶片傳送到另一個片匣中。

手動傳送晶片，需使用真空吸筆。嚴禁用手直接接觸晶片，即使佩帶了手套。每次使用真空吸筆前，必須確認其是清潔的。使用真空吸筆從片匣里拿取晶片時，要將吸筆頂端的刻槽部分放置在晶片背面的指定區域。在試圖將晶片拿離片匣之前，要停留幾秒鐘，以確保吸筆已經完全真空密封。從片匣的背面（H-杠）將晶片垂直提出，并垂直放入另一個片匣的前部。在晶片被放到最終位置之后，按下吸筆上的ROUND（圓形）鍵，使晶片從吸筆頂端脫離，從而完成了一片晶片的傳送。

2. 拿取片匣和物料盒的方法

操作人員每次只允許拿取一個片匣或物料盒。拿取片匣或物料盒時，應將片匣或物料盒置于腰部高度，正面對人。如果搬運的晶片是用墨點標記過的（Inked），應將片匣或物料盒須略微傾斜一定角度，以保證邊緣的墨點不被摩擦到 。

2.1 拿取6寸或8寸片匣時，一只手抓住盒手柄，另一只手在側面扶穩片匣，或者將雙手放在片匣兩側。如下圖所示。

將片匣放入測試機時，一只手抓住盒手柄，另一只手在側面扶穩片匣。如下圖所示。

2.2 拿取12寸片匣時，用雙手抓住兩側手柄拿取12寸晶片片匣或將手放在片匣兩側，如下圖所示。

將片匣放入測試機時，需用雙手抓住兩側手柄拿取12寸承載環片匣。如下圖所示。

3. 片匣和物料盒的傳送

從一個工作區將晶片傳送到另一個工作區時，需將晶片放在關閉的物料盒中。不同平臺之間的晶片傳送必須用手推車，無論是一批或多批。操作員每次至多在手中搬運或挪放一個物料盒。在搬運或挪放物料盒的同時，禁止物料盒上或手中有其他物品。物料盒或片匣不能上下羅著堆放在手推車上。用手推車運送裝有晶片的12寸物料盒或片匣時，每層不能超過一個，運送8寸物料盒或片匣時，每層不能超過四個。晶片傳送中，要確保物料盒安全鎖好。無論何時，都要用雙手搬移物料盒。

4. 物料盒的存放

物料盒要存放在生產線的指定物料架上。裝有晶片的物料盒不能上下羅著堆放在一起，也不能用手中的物料盒去推挪其他的物料盒。物料盒的擺放要整齊有序。擺放時，物料盒不能探出貨架，以防止物料意外墜落。禁止依靠存放有物料盒的物料架。如需移動物料架，必須先將物料架上的所有物料盒移走。此外，在物料架上打開物料盒也是被禁止的。

正確地操作晶片和正確地使用晶片操作設備，是晶片制造過程中確保產品質量的基本保障，也是減少晶片的人為損傷的重要因素之一。本文對于目前晶圓測試生產線上的操作晶片和晶片操作設備使用的方法做了簡單的介紹。更加先進和精細的晶片操作設備的不斷出現，將為晶片制造提供更加清潔與安全的制造環境。

參考文獻

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