微電子機械技術的發展研究

摘 要：微電子機械技術的發展對于我國科學技術的發展具有重要的促進作用。本文就微電子機械技術的發展情況進行簡單的分析，探討微電子機械技術在發展過程中所面臨的問題，并對此提出相應的解決對策。從而為我國微電子機械技術的發展做出鋪墊。

關鍵詞：微電子；機械技術；發展

中圖分類號：TN40 文獻標識碼：A 文章編號：1674-7712 （2014） 06-0000-01

微電子技術的發展為信息處理、自動化辦公、通信以及生產等方面帶來了極大的進步空間。在微電子技術發展的過程中，人們的思維習慣、生活方式和社會的生產都在一定程度上發生了變化，隨著微電子技術的發展，人類從此以后進入了信息化時代[1]。伴隨著微電子技術的發展，微電子機械技術隨之產生。微電子機械技術是一項全新的技術，其在技術發展的空間內具有廣袤的前景。在其不斷發展的過程中，不斷的減小了發展的成本，改進現有的技術功能。微電子機械技術成為微電子技術發展的一項技術性革命。

一、微電子機械技術發展的概況

微電子機械技術具有體積小、可靠性強、重量輕以及工作速度快等特點。微電子機械技術是根據集成電路為核心的半導體器件發展起來的一項新型技術。微電子機械技術的發展推動了電子信息時代的進步以及社會工業化的革新。微電子機械技術是微電子技術和微加工技術的結合體。在認識微電子機械技術的過程中還應當要對微加工技術和微電子技術有相應的了解。在微電子機械技術發展之前就已經有科學家從事了相應的電子元器件制造、設備維護、質量控制和半導體芯片等工作。這些工作的進行對探索集成電路為核心的電子技術發展中具有促進作用。微型機械系統可以完成其他電子技術所不能完成的任務。微型技術與微型機械相互結合使得種類繁多的微型器件相繼問世。這些器件的批量生產廣泛的運用于生活的各個方面。微電子機械技術的產生為各行各業發展帶來了巨大的前景。微電子機械技術在電子技術發展的領域中具有極強的靈活性。其發展不僅帶動了科學技術的進步，還在一定程度上促進了國民經濟的增長。微電子機械技術為技術和工藝提供了一個全新的發展空間。

二、微電子機械技術發展面臨的問題

1965年Gordon E.Moore作為Intel公司創始人之一，他根據IC芯片發展的規律曾預言了摩爾定律[2]。該定律的預言使得半導體技術發展成為一種可能。當前，集成電路的主要技術為8英寸的0.25μm，同時12英寸的0.18μm技術發展也已經漸漸成熟，隨著科學技術的發展0.15μm、0.13μm產品已開始投產，正在向0.10μm前進，按照微電子技術這種發展速度，微電子技術發展的速度比預期的還要快。隨著微電子技術的發展，使得微加工技術發展的進程加快。微型加工技術是微電機械技術發展的一個關鍵性技術。LIGA加工、準LIGA加工和硅加工在隨著微電子技術的發展朝著更復雜和更高深度的方向發展。微加工技術的發展使得加工技術對材料的要求進一步提高。我國微型加工技術分別在航空、環境、生物學等領域中廣泛運用。如今，微電子機械技術的發展能力在進步的過程中實現了產品非常小的愿望。采用微電子機械技術生產的產品較其他方式產生的產品具有一定的優越性。但是，在我國微電子機械技術不斷發展的過程中，微電子機械技術在發展的過程中同樣存在一定的問題。其呈現的問題主要有以下幾點：首先，由于微電子機械技術并不是傳統的機械，其無論是在概念上還是在尺度上遠遠超出了傳統機械運用。導致其在設計和制造方面存在一定的問題。其次，微型機械技術生產的產品具有微小化的特征，使得在生產中存在較大的難度，導致微電子機械技術的產品需要經過專業化的處理才能夠被理解和運用。最后，微電子機械技術的發展是在微型電子的發展基礎上發展起來的。因此，微電子機械技術的發展始終以微電子技術的發展為前提。

三、微電子機械技術在我國發展的現狀和對策

我國在微電子技術發展方面較其他國家落后。但是，在我國微電子機械技術不斷發展的過程中，太細的微電子機械并不影響我國電子機械的發展[3]。當前，我國半導體工藝加工水平已經完全滿足微電子機械技術發展的要求。同時，根據原有硅基壓力傳感器和相應的石英加速器，使得我國在微電子機械技術發展的過程中，把握微電子技術發展的方向，結合國外發展的經驗，將我國微電子機械技術發展的更為先進。當前，我國科學技術與國外相比存在一定的差距。差距的產生不僅僅是科學技術水平的原因，還存在一定的原因就是國家應當加大相應的資金投入，鼓勵我國微電子機械技術的發展。微電機械技術的發展對我國科學技術的發展具有重要的促進作用。為能夠保證其他科學技術能夠獲得更好的發展，微電子機械技術的發展必不可少。唯有加大資金的投入，培養更多更優秀的人才，促進微電機械技術的發展，才能夠更好的促進我國各方面的發展[4]。

四、結束語

微電機械技術的發展給我們的生活帶來了翻天覆地變化。無論是從科研成果方面還是科技創造方面都已經取得了較為滿意的成績。

參考文獻：

[1]陳海平.分子模擬軟件Materials studio在微電子專業課程中的應用[J].產業與科技論壇，2012（20）：10.

[2]RTHowe.Fatigueof Polycrystalline Siliconfor Microelec-tromechanical System Applications：Crack Growth and Stabi-lityunder Resonant Loading Conditions[J].IEEE，2012（10）：13-33.

[3]王躍林，王渭源.集成微光機電系統前沿[A].中國科學院2000年高技術發展報告[C].北京：科學出版社，2010：157-160.

[4]趙曉峰，溫殿忠.MEMS研究與發展前景[J].黑龍江大學自然科學學報，2012（01）：64-69.

[作者簡介]朱光霞（1981.04-），女，安徽銅陵人，安徽銅陵市中等職業技術教育中心機電專業課教師，講師，主要研究方向：機電技術研究。