基于SolidWorks Simulation的潔凈機(jī)械手機(jī)身振動(dòng)特性分析

摘 要：利用SolidWorks和SolidWorks Simulation軟件對(duì)潔凈機(jī)械手進(jìn)行三維實(shí)體建模與動(dòng)態(tài)特性分析。通過(guò)結(jié)構(gòu)優(yōu)化，改變了潔凈機(jī)械手的低階固有頻率，避免了共振的產(chǎn)生。通過(guò)改變潔凈機(jī)械手的振型，提高了潔凈機(jī)械手取放工件的搬運(yùn)精度，為結(jié)構(gòu)的改進(jìn)提供了可靠的參考依據(jù)。

關(guān)鍵詞：潔凈 機(jī)械手 模態(tài)

中圖分類(lèi)號(hào)：TQ051文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1674-098X（2013）04（b）-0250-02

半導(dǎo)體制造行業(yè)在我國(guó)的迅速發(fā)展，設(shè)備的自動(dòng)化程度也越來(lái)越高。現(xiàn)代化的設(shè)備常常配置有潔凈機(jī)械手，以提高生產(chǎn)效率。潔凈機(jī)械手是為半導(dǎo)體生產(chǎn)自動(dòng)化專(zhuān)門(mén)配備的機(jī)械手，它可以在保證產(chǎn)品質(zhì)量、改善勞動(dòng)條件、降低生產(chǎn)成本、增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力等方面起到及其重要的作用。

在實(shí)際工作過(guò)程中，潔凈機(jī)械手在低頻率下會(huì)產(chǎn)生劇烈的振動(dòng)，影響潔凈機(jī)械手的工作可靠性，容易產(chǎn)生因潔凈機(jī)械手的誤操作而使被取工件報(bào)廢等事故。因此，降低潔凈機(jī)械手的低頻振動(dòng)，對(duì)提高生產(chǎn)效率和穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量有著極其重要的作用。本文在分析某潔凈機(jī)械手取放工件特性的基礎(chǔ)上，結(jié)合其本身的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，優(yōu)化其動(dòng)力特性，以期提高取放工件的定位精度。

鑒于潔凈機(jī)械手的取放工件定位精度與機(jī)身振動(dòng)特性在實(shí)際產(chǎn)品開(kāi)發(fā)中的重要作用，很多單位和學(xué)者對(duì)其展開(kāi)了研究。謝志江[1] 通過(guò)對(duì)搬運(yùn)機(jī)械手進(jìn)行三維實(shí)體建模與動(dòng)靜態(tài)特性分析和優(yōu)化，提高了機(jī)械手的低階固有頻率，避免了共振的產(chǎn)生，此方法缺乏對(duì)實(shí)踐工藝的分析。……