基于SolidWorks Simulation的潔凈機械手機身振動特性分析

摘 要：利用SolidWorks和SolidWorks Simulation軟件對潔凈機械手進行三維實體建模與動態(tài)特性分析。通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化，改變了潔凈機械手的低階固有頻率，避免了共振的產(chǎn)生。通過改變潔凈機械手的振型，提高了潔凈機械手取放工件的搬運精度，為結(jié)構(gòu)的改進提供了可靠的參考依據(jù)。

關(guān)鍵詞：潔凈 機械手 模態(tài)

中圖分類號：TQ051文獻標(biāo)識碼：A 文章編號：1674-098X（2013）04（b）-0250-02

半導(dǎo)體制造行業(yè)在我國的迅速發(fā)展，設(shè)備的自動化程度也越來越高。現(xiàn)代化的設(shè)備常常配置有潔凈機械手，以提高生產(chǎn)效率。潔凈機械手是為半導(dǎo)體生產(chǎn)自動化專門配備的機械手，它可以在保證產(chǎn)品質(zhì)量、改善勞動條件、降低生產(chǎn)成本、增強企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用。

在實際工作過程中，潔凈機械手在低頻率下會產(chǎn)生劇烈的振動，影響潔凈機械手的工作可靠性，容易產(chǎn)生因潔凈機械手的誤操作而使被取工件報廢等事故。因此，降低潔凈機械手的低頻振動，對提高生產(chǎn)效率和穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量有著極其重要的作用。本文在分析某潔凈機械手取放工件特性的基礎(chǔ)上，結(jié)合其本身的結(jié)構(gòu)特點，優(yōu)化其動力特性，以期提高取放工件的定位精度。

鑒于潔凈機械手的取放工件定位精度與機身振動特性在實際產(chǎn)品開發(fā)中的重要作用，很多單位和學(xué)者對其展開了研究。謝志江[1] 通過對搬運機械手進行三維實體建模與動靜態(tài)特性分析和優(yōu)化，提高了機械手的低階固有頻率，避免了共振的產(chǎn)生，此方法缺乏對實踐工藝的分析。……