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基于SolidWorks Simulation的潔凈機械手機身振動特性分析

2013-12-31 00:00:00劉長斌等
科技創(chuàng)新導(dǎo)報 2013年11期

摘 要:利用SolidWorks和SolidWorks Simulation軟件對潔凈機械手進行三維實體建模與動態(tài)特性分析。通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化,改變了潔凈機械手的低階固有頻率,避免了共振的產(chǎn)生。通過改變潔凈機械手的振型,提高了潔凈機械手取放工件的搬運精度,為結(jié)構(gòu)的改進提供了可靠的參考依據(jù)。

關(guān)鍵詞:潔凈 機械手 模態(tài)

中圖分類號:TQ051文獻標(biāo)識碼:A 文章編號:1674-098X(2013)04(b)-0250-02

半導(dǎo)體制造行業(yè)在我國的迅速發(fā)展,設(shè)備的自動化程度也越來越高。現(xiàn)代化的設(shè)備常常配置有潔凈機械手,以提高生產(chǎn)效率。潔凈機械手是為半導(dǎo)體生產(chǎn)自動化專門配備的機械手,它可以在保證產(chǎn)品質(zhì)量、改善勞動條件、降低生產(chǎn)成本、增強企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用。

在實際工作過程中,潔凈機械手在低頻率下會產(chǎn)生劇烈的振動,影響潔凈機械手的工作可靠性,容易產(chǎn)生因潔凈機械手的誤操作而使被取工件報廢等事故。因此,降低潔凈機械手的低頻振動,對提高生產(chǎn)效率和穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量有著極其重要的作用。本文在分析某潔凈機械手取放工件特性的基礎(chǔ)上,結(jié)合其本身的結(jié)構(gòu)特點,優(yōu)化其動力特性,以期提高取放工件的定位精度。

鑒于潔凈機械手的取放工件定位精度與機身振動特性在實際產(chǎn)品開發(fā)中的重要作用,很多單位和學(xué)者對其展開了研究。謝志江[1] 通過對搬運機械手進行三維實體建模與動靜態(tài)特性分析和優(yōu)化,提高了機械手的低階固有頻率,避免了共振的產(chǎn)生,此方法缺乏對實踐工藝的分析。……

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