基于SolidWorks Simulation的潔凈機械手機身振動特性分析

摘 要：利用SolidWorks和SolidWorks Simulation軟件對潔凈機械手進行三維實體建模與動態特性分析。通過結構優化，改變了潔凈機械手的低階固有頻率，避免了共振的產生。通過改變潔凈機械手的振型，提高了潔凈機械手取放工件的搬運精度，為結構的改進提供了可靠的參考依據。

關鍵詞：潔凈 機械手 模態

中圖分類號：TQ051文獻標識碼：A 文章編號：1674-098X（2013）04（b）-0250-02

半導體制造行業在我國的迅速發展，設備的自動化程度也越來越高。現代化的設備常常配置有潔凈機械手，以提高生產效率。潔凈機械手是為半導體生產自動化專門配備的機械手，它可以在保證產品質量、改善勞動條件、降低生產成本、增強企業的競爭力等方面起到及其重要的作用。

在實際工作過程中，潔凈機械手在低頻率下會產生劇烈的振動，影響潔凈機械手的工作可靠性，容易產生因潔凈機械手的誤操作而使被取工件報廢等事故。因此，降低潔凈機械手的低頻振動，對提高生產效率和穩定產品質量有著極其重要的作用。本文在分析某潔凈機械手取放工件特性的基礎上，結合其本身的結構特點，優化其動力特性，以期提高取放工件的定位精度。

鑒于潔凈機械手的取放工件定位精度與機身振動特性在實際產品開發中的重要作用，很多單位和學者對其展開了研究。謝志江[1] 通過對搬運機械手進行三維實體建模與動靜態特性分析和優化，提高了機械手的低階固有頻率，避免了共振的產生，此方法缺乏對實踐工藝的分析。……