極間距和工作電壓對陽極屏蔽電沉積銅定域性的影響

羅龔 ，陳茂琳，袁原, ，蔡佳琪，林依璇，李書弘，李寧

1.廣東石油化工學院機電工程學院，廣東 茂名 525000

2.哈爾濱工業大學化工與化學學院，黑龍江 哈爾濱 150001

3.廣東石油化工學院化學學院，廣東 茂名 525000

電沉積技術歷史悠久，早在1840年就出現了電沉積銀和金的專利，之后又出現了電沉積鎳、鉻等技術[1]。隨著微機電系統的發展，微加工技術在制造行業中受到極大關注[2]。制造微、納米尺度金屬零件是實現高集成化微機電系統亟待解決的難題。金屬粉末熔融成型是目前廣泛運用的金屬增材制造技術，但存在熔融面積較大，制件易產生裂紋和孔隙等不足[3-4]。電沉積制造技術是基于機械設計和電控結晶理論的增材制造技術，具有精度高、無熱變形、沉積層內應力小、可在常溫下連續成型等特性[5-6]。采用電沉積工藝可生產高品質的精密三維金屬結構[7-9]，如納米晶合金[10]、半導體納米合金[11]、非晶態合金[12]、單金屬納米晶[13]等材料。電沉積制造技術可驅動新興工業材料制造技術的發展，為產品的高集成化、輕量化和智能化創造條件。

定域性電沉積能夠通過實時屏蔽不同位置的電信號來實現選區電沉積，易于調控，是實現金屬三維微結構電沉積制造的基礎[14]。目前，定域性電沉積制備金屬微結構主要圍繞納米線、納米柱、納米中空管等方向展開研究[15]，有關微納米尺度基板圖案印刷技術的研究相對較少，然而制造業對于高精度毫米/微米尺度金屬加工技術的需求量大，因此定域性電沉積毫米/微米尺度金屬加工技術的研究備受關注?！?br>