劉紫瀟 范增華
(山東理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院 山東 淄博 255049)
液橋作用下的毛細(xì)現(xiàn)象是自然界和工業(yè)生產(chǎn)中常見(jiàn)的物理現(xiàn)象,在微觀世界下,液橋力的主導(dǎo)作用凸顯[1]。近年來(lái),液橋介質(zhì)的柔順性作為一種特質(zhì)用于微操作機(jī)器人系統(tǒng)中微構(gòu)件的拾取、轉(zhuǎn)移,以避免傳統(tǒng)機(jī)械夾持造成的應(yīng)力集中[2-3]。因此,為了提高操作進(jìn)程的有效性,液橋力的檢測(cè)對(duì)微操作進(jìn)程具有重要的指導(dǎo)意義。
面向平面-球面典型配置下的液橋力求解,文獻(xiàn)[4]建立了亞毫米微球-平面配置下的作用模型,通過(guò)精確迭代法,求解液橋力,并分析接觸角、液橋高度對(duì)液橋力的影響規(guī)律。文獻(xiàn)[5-6]建模分析AFM球形針尖與平面間的粘著作用,基于熱力學(xué)的Kelvin方程法求解不同濕度下的液橋力,并通過(guò)AFM實(shí)驗(yàn)測(cè)量驗(yàn)證理論模型。文獻(xiàn)[7]通過(guò)圓弧近似液橋輪廓,求解偏微分的Laplace-Young方程,獲取液橋力,并分析了液橋體積、液橋高度和接觸角對(duì)液橋力的影響規(guī)律。文獻(xiàn)[8]通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試,分析了球面-平面配置下表面粗糙度對(duì)液橋斷裂后轉(zhuǎn)移率的影響。針對(duì)平面-球面間的液橋力獲取,上述方法主要是通過(guò)建模理論計(jì)算,或者集成傳感器實(shí)驗(yàn)測(cè)量。然而,在實(shí)際應(yīng)用進(jìn)程中難以匹配微力傳感器,其制約著操作進(jìn)程中液橋力的實(shí)時(shí)反饋。
數(shù)字圖像處理廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)工程、機(jī)器人視覺(jué)、工業(yè)過(guò)程檢測(cè)等領(lǐng)域[9-11],但面向微操作機(jī)器人液橋力檢測(cè)的研究較少。本文研究基于數(shù)字圖像處理的平面-球面液橋力檢測(cè)方法,通過(guò)圖像在線采集和處理可實(shí)時(shí)獲取液橋輪廓,建立液橋作用模型,設(shè)計(jì)檢測(cè)進(jìn)程?;谔崛〉囊簶蜉喞?,進(jìn)行曲線擬合求解液橋力,并通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量分析圖像處理檢測(cè)的有效性。
圖1所示為平面-球面配置下的液橋作用示意圖,液橋高度為H,微球?qū)ο笠环矫媸艿揭簶驈澰旅鎯?nèi)外壓差ΔP所形成的毛細(xì)吸附力,另一方面受到液橋與微球接觸線位置處的表面張力。故微球所受到的液橋力F包含內(nèi)外壓差產(chǎn)生的吸附力和表面張力在液橋軸線方向上的分力兩部分,如式(1)所示。
F=ΔPA+γlsin(β+θ2)
(1)
式中:A為球面潤(rùn)濕區(qū)域的面積;l為液橋潤(rùn)濕區(qū)域的周長(zhǎng);γ為液體的表面張力系數(shù);β為球面浸潤(rùn)區(qū)域的半圓心角;θ2為球面的接觸角。

圖1 平面-球面液橋模型
基于Young-Laplace方程[12]參數(shù)化液橋輪廓,考慮液橋主曲率半徑和液橋壓差的偏微分Young-Laplace方程如式(2)所示。
(2)
由式(2)可知,基于液橋的輪廓方程,可通過(guò)求解偏微分的Young-Laplace方程獲取ΔP,代入式(1)即可求解液橋力。因此,液橋輪廓信息是液橋力求解的關(guān)鍵。
基于圖像處理的液橋力檢測(cè)方法,對(duì)采集的液橋圖像進(jìn)行液橋輪廓提取,并擬合求解液橋力。本文設(shè)計(jì)的基于圖像處理的液橋力檢測(cè)流程如圖2所示。首先對(duì)操作工具和微球定位,為了提高計(jì)算速度,選取特定的圖像作為目標(biāo)液橋的興趣區(qū)域(ROI),進(jìn)行二值化處理,提取興趣區(qū)域的輪廓。由于液橋ROI的輪廓并非純液橋,通過(guò)角點(diǎn)檢測(cè)的方法獲取輪廓上的角點(diǎn),作為液橋端點(diǎn)的候選點(diǎn)。以操作工具輪廓、微對(duì)象輪廓作為邊界條件,獲取液橋的上、下端點(diǎn)。通過(guò)對(duì)上下端點(diǎn)間液橋輪廓的擬合,獲取輪廓方程,代入式(1)和式(2)求解液橋力。

圖2 圖像處理的液橋力檢測(cè)流程
圖像中包含操作工具、液橋和微球三個(gè)對(duì)象,而液橋力計(jì)算的目標(biāo)區(qū)域僅為液橋。通過(guò)微球和操作工具的定位,進(jìn)而限定液橋區(qū)域,操作工具的下端面為液橋的分界面。微球的位置通過(guò)梯度Hough圓檢測(cè)的策略實(shí)現(xiàn),獲取微球的圓心位置和半徑,對(duì)微球圖像進(jìn)行Canny邊緣檢測(cè)后提取微球輪廓。為了提高運(yùn)算效率,液橋區(qū)域的提取在選定的液橋ROI內(nèi)進(jìn)行,如圖3所示。包含微球球冠和操作探針末端的方框?yàn)檫x取的液橋ROI,液橋的識(shí)別在該限定區(qū)域內(nèi)進(jìn)行,約束了液橋區(qū)域左右兩側(cè)邊界。液橋ROI既可通過(guò)已確定的微球位置自動(dòng)確定,又可通過(guò)鼠標(biāo)手動(dòng)選取。微球的定位也可通過(guò)手動(dòng)選擇三個(gè)圓周特征點(diǎn)實(shí)現(xiàn)。在液橋ROI內(nèi),微球和操作工具間的區(qū)域即為液橋區(qū)域,如圖3所示。

圖3 液橋區(qū)域獲取

(3)
式中:P1為目標(biāo)區(qū)域的像素?cái)?shù)占全部像素的比例;m1為目標(biāo)區(qū)域的平均灰度值;P2為背景區(qū)域像素?cái)?shù)占全部像素的比例;m2為背景區(qū)域的平均灰度值;mG為整個(gè)圖像的平均灰度值。
圖4所示為二值化后圖像和提取后的輪廓,圖4(a)上的斑點(diǎn)是操作工具表面反光所致?;诙祷瘓D像對(duì)液橋區(qū)域輪廓進(jìn)行粗、精過(guò)程提取。利用邊界跟蹤法獲取粗輪廓,對(duì)二值化的圖像從上到下、從左到右掃描,邊界左上方的第1個(gè)邊界點(diǎn)為初始點(diǎn),按照逆時(shí)針?lè)较蛩阉髌鹗键c(diǎn)的8領(lǐng)域點(diǎn),搜索到的第一個(gè)與當(dāng)前像素值相同的點(diǎn)為新的邊界點(diǎn),并作為新的起始點(diǎn),直至完成所有邊界點(diǎn)的識(shí)別,完成輪廓的粗提取。液橋具有柔性,輪廓易受到波動(dòng),通過(guò)基于參數(shù)化的主動(dòng)輪廓模型(Snake模型)進(jìn)行輪廓精提取[13]。參數(shù)化曲線為前一步提取的粗輪廓,可變形的曲線在外部、內(nèi)部能量的作用下向邊緣靠攏,收斂到邊緣時(shí)能量達(dá)到最小。求解能量函數(shù),獲得對(duì)應(yīng)歐拉方程的解,能量最小的曲線位置即為精確的目標(biāo)輪廓。平面-球面配置下的液橋區(qū)域?yàn)閷?duì)稱特征,液橋力的求解僅需一側(cè)輪廓的擬合方程即可,可通過(guò)確定的輪廓中心將液橋區(qū)域?qū)ΨQ分割,如圖4(b)所示。

(a) 二值化圖像 (b) 輪廓提取圖4 液橋興趣區(qū)域輪廓提取
為了實(shí)現(xiàn)液橋力的求解,需要在液橋區(qū)域輪廓中提取液橋輪廓,以便進(jìn)行擬合、計(jì)算。目標(biāo)液橋輪廓通過(guò)液橋上、下端點(diǎn)進(jìn)行限定。本文基于Shi-Tomasi角點(diǎn)檢測(cè)算法獲取液橋區(qū)域輪廓中的角點(diǎn),并作為液橋端點(diǎn)的候選點(diǎn)。當(dāng)搜索窗口在圖像中移動(dòng)[u,v]時(shí),引起的灰度變化為E(u,v),當(dāng)灰度變化矩陣較小的特征值大于閾值時(shí),則判定所在的位置為角點(diǎn)。圖5所示為基于Shi-Tomasi角點(diǎn)檢測(cè)的結(jié)果,通過(guò)確定的液橋中心可區(qū)分左右兩側(cè)的角點(diǎn)。

圖5 角點(diǎn)與液橋端點(diǎn)提取
操作探針端面和基于Hough變換檢測(cè)到的微球輪廓分別為液橋區(qū)域的上、下邊界,該限定區(qū)域內(nèi),液橋輪廓上的角點(diǎn)為液橋端點(diǎn)的候選點(diǎn)。該區(qū)域內(nèi)與操作探針下端、微球輪廓臨近或接觸的角點(diǎn)即分別為液橋輪廓的上、下端點(diǎn)。液橋端點(diǎn)的選擇為下一步液橋輪廓的擬合奠定了重要基礎(chǔ)。
基于確定的液橋區(qū)域上、下端點(diǎn),通過(guò)對(duì)端點(diǎn)間的輪廓進(jìn)行擬合,獲取液橋輪廓的數(shù)學(xué)表達(dá)式,并對(duì)液橋力進(jìn)行數(shù)學(xué)求解。本文基于最小二乘法對(duì)液橋輪廓進(jìn)行拋物線方程擬合,擬合方程為y=ax2+bx+c。圖6所示為擬合后的液橋輪廓。將輪廓方程代入式(2),求偏微分Young-Laplace方程,可得到液橋壓差ΔP。液橋潤(rùn)濕區(qū)域的周長(zhǎng)l、球面的接觸角θ2均可通過(guò)擬合液橋輪廓方程和邊界條件求出,代入式(1)后,即可求解液橋作用力,實(shí)現(xiàn)圖像處理的液橋力檢測(cè)。

圖6 輪廓擬合
搭建基于顯微視覺(jué)的液橋力測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置,并配置平面-微球間的測(cè)試模型,開(kāi)展圖像處理液橋力檢測(cè)實(shí)驗(yàn)研究,分析本文方法的有效性,如圖7所示。圖7(a)所示為構(gòu)建的測(cè)試實(shí)驗(yàn)裝置,直徑288 μm的探針作為單針式操作工具,直徑760 μm的錫球粘接在玻璃基底上作為微球?qū)ο?。制冷片控制下在探針末端產(chǎn)生液滴,運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制液滴移動(dòng),與微球接觸后形成液橋,分辨率0.1 μN(yùn)的精密電子天平(德國(guó)Sartorius)作為力測(cè)量裝置,光學(xué)顯微鏡采集液橋圖像信息。

(a) 實(shí)驗(yàn)裝置

(b) 定位 (c) 端點(diǎn)選取

(d) ROI選取 (e) 液橋輪廓擬合圖7 液橋力實(shí)驗(yàn)檢測(cè)流程
通過(guò)梯度Hough圓檢測(cè)的策略實(shí)現(xiàn)先獲取微球的輪廓,也可通過(guò)三個(gè)特征點(diǎn)的選取實(shí)現(xiàn)微球的定位,如圖7(b)所示。根據(jù)接觸后產(chǎn)生的液橋,確定液橋的端點(diǎn),如圖7(c)所示。根據(jù)產(chǎn)生的液橋位置,利用鼠標(biāo)選取液橋ROI,液橋區(qū)域輪廓的提取均在該區(qū)域內(nèi)進(jìn)行,如圖7(d)所示。基于劃分的對(duì)稱液橋圖像,對(duì)液橋區(qū)域輪廓進(jìn)行拋物線擬合,如圖7(e)所示。
基于圖像處理的液橋力檢測(cè)流程,可獲取液橋輪廓方程,并獲取液橋的接觸角、液橋內(nèi)外壓差等特征參數(shù),代入式(1)即可求解液橋力。本文基于顯微視覺(jué)反饋,選取8個(gè)實(shí)驗(yàn)樣本進(jìn)行圖像處理的液橋力計(jì)算,并對(duì)比實(shí)驗(yàn)測(cè)量,驗(yàn)證所提出圖像處理計(jì)算策略的有效性,結(jié)果如表1所示。液體介質(zhì)為冷凝水,液橋的表面張力系數(shù)為0.072 8 N/m。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,所測(cè)試樣本液橋力的最小誤差為0.18 μN(yùn),最大誤差為2.62 μN(yùn),對(duì)應(yīng)的相對(duì)實(shí)驗(yàn)測(cè)量值的偏差比分別為1.4%和17.78%。8組實(shí)驗(yàn)樣本的平均誤差為1.08 μN(yùn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了所提出圖像處理液橋力計(jì)算方法的有效性,為基于液體介質(zhì)的微操作機(jī)器人系統(tǒng)的液橋力動(dòng)態(tài)檢測(cè)提供了有效途徑,對(duì)下一步的操作進(jìn)程具有重要的指導(dǎo)意義。

表1 測(cè)量數(shù)據(jù)
面向平面-球面配置下的液橋作用模型,本文研究了基于圖像處理的液橋力檢測(cè)方法,實(shí)現(xiàn)液橋輪廓的提取和液橋力計(jì)算。建立平面-微球液橋作用理論模型,分析了液橋力計(jì)算的理論途徑。設(shè)計(jì)了基于圖像處理的液橋力檢測(cè)流程,主要包括微球位置的確定、液橋區(qū)域輪廓提取、液橋輪廓擬合和液橋力計(jì)算等進(jìn)程?;赟hi-Tomasi角點(diǎn)檢測(cè)方法,確定液橋端點(diǎn),并完成液橋輪廓的精確提取。搭建了測(cè)試裝置,開(kāi)展圖像處理的液橋力檢測(cè)的實(shí)驗(yàn)研究,并通過(guò)液橋力測(cè)量對(duì)比分析圖像處理結(jié)果的誤差。在平面-微球結(jié)構(gòu)配置下,8組實(shí)驗(yàn)樣本的檢測(cè)結(jié)果表明,圖像處理液橋力的平均檢測(cè)誤差為1.08 μN(yùn)。圖像處理的檢測(cè)方法為液體介質(zhì)微操作機(jī)器人液橋力的實(shí)時(shí)檢測(cè)提供了有效手段,也為操作進(jìn)程的進(jìn)一步調(diào)控提供重要的依據(jù)。