論電子工業中酸堿廢氣的處理方法

【摘 ?要】本文通過對電子工業中酸堿廢氣去除的機理進行分析，從而針對污染源進行有效去除，提出解決設計方案，優化酸堿廢氣治理環節，以達到對環境的有效保護，減少有毒廢氣排入大氣，造成對環境的二次污染。

【關鍵詞】電子工業;酸堿廢氣;處理

1、引言

隨著新智能制造時代的到來，新型生產工藝背景下新材料的誕生與運用，高速發展的時代背景下。電子工業中的面板、芯片成為新時代發展的應用基板，而隨著電子工業以迅雷不及掩耳之勢的態勢發展，電子工業中的工藝廢氣治理也成為當下我們關注的話題。在經濟發展與環境治理中，我們要科學健康發展，故我們在新型工業中，發展科技與保護環境變得互為重要，在滿足科技發展的前提下，提升環境治理格局，優化環境治理措施變得尤為重要。

2、電子工業廢氣中酸堿廢氣的去除機理

2.1堿性排氣系統中氣體的去除機理

由于堿性（剝離液）排氣系統中主要含有NH3、KOH、TMAH等堿性物質，需要添加酸性中和液來去除，則洗滌塔選擇添加H2SO4（50%）溶液。

化學方程式：OH-+H+=H2O。

2.2酸性排氣系統中氣體的去除機理

酸性含有NOx、HCl、Cl2、H2SO4、H3PO4、HF、CH3COOH、HNO3等酸性氣體，需要采用單級臥式洗滌塔來去除。添加還原劑和堿液去除，添加NaOH（30%）溶液和NaHS（20%）溶液。

化學方程式：8 NO2 + 2 NaHS + 8 NaOH → 8 NaNO2 + Na2S2O3 + 5 H2O

其它酸性氣體化學方程式：OH-+H+→ H2O。

3、電子工業廢氣中酸堿廢氣的主要成分與濃度

3.1酸性廢氣的組成成分

3.2堿性廢氣的組成成分

4、電子工業廢氣中酸廢氣處理方法

4.1酸廢氣處理用洗滌塔理論計算書設計條件

4.2酸廢氣處理用洗滌塔去除效率計算

4.3酸廢氣處理用洗滌塔壓力損失計算

4.4酸廢氣處理反應機理及化學品用量

4.4.1二氧化氮的反應機理及化學品用量

5.5堿廢氣處理中氨氣吸收裝置循環水量計算書

已知洗滌塔噴灑面積A= 1.389 m2

液體流率=20 M3/HR.M2

則流量L= 20 M3/HR.M2 ?1.389 m2 ? 60 Min./HR = 463L/Min.

在以上酸堿廢氣的處理中，我們以酸排氣風量75000m?/hr和減排氨氣吸收裝置計算數據為例，詮釋了在電子工業廢氣中酸堿廢氣的典型處理方式，讓我們在設計中有所參考計算依據。

結束語

電子工業酸堿廢氣的處理方案，國內外均有所不同點，但總的吸收機理不變，設計核算方式不變，唯不同在于設備整體的布置，材料選型有異。以上核算數據類型適用性較廣，但需要根據具體案例特殊要求進行細化處理，完善功能特性，防止次生危害源的產生，尤其注意硫氫化鈉在酸性條件下的分解。

參考文獻：

[1] 方大，《實用水泵、風機和起重機速查速算手冊》，化學工業出版社，2013-01

作者簡介：

黃永兵，男，1990年12月，漢，內蒙古呼和浩特市，上海盛劍環境系統科技股份有限公司，本科畢業，中級環保工程師，研究方向：電子工業中廢氣的處理。

（作者單位：上海盛劍環境系統科技股份有限公司）