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侯小龍

近日，賽默飛世爾科技（以下簡稱：賽默飛）宣布推出新產(chǎn)品，增強(qiáng)半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制和產(chǎn)量。這些新產(chǎn)品于2018年3月14 ～ 16日在SEMICON China展出。

賽默飛半導(dǎo)體副總裁兼總經(jīng)理Rob Krueger表示：“賽默飛深耕用于控制生產(chǎn)工藝和診斷半導(dǎo)體和顯示器制造過程和產(chǎn)品故障根本原因的先進(jìn)分析技術(shù)。近期，將推出新產(chǎn)品，幫助推動(dòng)亞洲，特別是中國的半導(dǎo)體制造業(yè)快速創(chuàng)新和持續(xù)拓展。”

Verios G4極高分辨率掃描電子顯微鏡

Thermo Scientific Verios G4極高分辨率（XHR）掃描電子顯微鏡（SEM）提供確定根本原因缺陷、產(chǎn)量損失以及過程和產(chǎn)品故障所需的能力和靈活性。

Krueger表示：“Verios G4是源于大獲成功的Helios DualBeam系列（聚焦離子束/掃描電子顯微鏡）儀器的掃描電子顯微鏡解決方案。它提供各種環(huán)境下行業(yè)領(lǐng)先的性能，尤其是用于先進(jìn)工藝的光束敏感材料所需的低電壓環(huán)境。”

Hyperion II快速高效的納米探針

納米探測(cè)器直接對(duì)單個(gè)晶體管進(jìn)行電測(cè)量。新的Thermo Scientific Hyperion II是基于原子力顯微鏡的唯一商用納米探針，無需真空要求和基于掃描電子顯微鏡納米探測(cè)器的電子束/樣品相互作用。Hyperion II的自動(dòng)操作和成像模式專為提高速度和易用性而設(shè)計(jì)。此外，其精確定位電氣故障的能力可以提高DualBeam或者TEM后續(xù)分析的速度和效率。

iCAP TQs電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

Thermo Scientific iCAP TQs電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）是信譽(yù)卓著的iCAP TQ ICP-MS的專用半導(dǎo)體版本。它提供了超高純度化學(xué)品中快速、可靠和可重復(fù)的低水平污染物測(cè)量，以支持先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的自動(dòng)化在線監(jiān)測(cè)和統(tǒng)計(jì)過程控制。iCAP TQs ICP-MS在一個(gè)高性能解決方案中提供了新的超低檢測(cè)水平和簡單性。有了這個(gè)新系統(tǒng)，如今將化學(xué)分析從實(shí)驗(yàn)室移到工廠成為可能，并支持對(duì)化學(xué)浴進(jìn)行在線控制，從而優(yōu)化響應(yīng)時(shí)間。