微型熱導檢測器溫控模塊研究*

游文斌, 馮 飛， 俞正寅， 戈肖鴻， 劉 明， 李昕欣

微型熱導檢測器溫控模塊研究*

游文斌1,2, 馮 飛1， 俞正寅1， 戈肖鴻1， 劉 明1， 李昕欣1

(1.中國科學院 上海微系統與信息技術研究所，上海 200050；2.中國科學院大學，北京 100049)

作為微型氣相色譜儀(Micro GC)的關鍵部件的微型熱導檢測器(Micro TCD)，其噪聲主要來自于溫度波動和氣流抖動等因素。從理論上分析了Micro TCD噪聲的主要來源，使用COMSOL仿真得到了溫度波動對系統噪聲的影響，并詳述了Micro TCD加熱模塊的電路部分和算法部分。測試表明:Micro TCD的溫度波動約為0.09 ℃，達到了商用GC控溫精度的標準。

微型氣相色譜儀； 熱導檢測器； 噪聲； PID算法

0 引 言

俄國植物學家茨維特于20世紀發明了色譜法。經歷了100多年的發展，色譜法已經發展成為分析化學領域里一個重要的組成部分[1]。氣相色譜法作為色譜法的一支，于1952年被投入于實際運用當中[2]。近年來，氣相色譜法在石油、化工、農藥殘留分析等領域都得到了廣泛的運用[3～5]。

然而，傳統的氣相色譜儀(gas chromatograph,GC)具有體積龐大，功耗較高等特點。隨著MEMS技術的發展[6]，氣相色譜儀的兩個重要組件：色譜柱和檢測器的微型化都成為了可能[7]。Agilent 3000使用了MEMS技術制備的熱導檢測器(thermal conductivity detector,TCD)作為其檢測器，而Elster公司的生產的GCM5000和GCM7000 使用的色譜柱和TCD都是使用MEMS技術加工的。微型氣相色譜儀(Micro GC)具有體積小、功耗低、消耗樣品量小以及檢測靈敏度高等特點，因此，Micro GC具有巨大的研究價值及市場前景。

TCD作為氣相色譜儀系統的關鍵部件之一，其溫控的精度對于系統最后的性能有至關重要的影響。一般而言，傳統的TCD溫控精度需要達到±0.1 ℃。目前已商品化的氣相色譜儀中，如北分三譜儀器有限責任公司的GC—8000和上海儀電科技有限公司的GC—126溫度控制的精度均為±0.1 ℃。而芯片化的Micro TCD體積小，熱容低，故需要重新設計其溫控模塊，并使其溫控精度不低于傳統TCD的溫控精度要求。

1 Micro TCD的結構

Micro TCD是由4根熱絲組成的惠斯通電橋結構[7]，其結構示意圖如圖1所示。

圖1 Micro TCD結構示意圖

圖1中R1，R2，R3，R4代表著4根結構和阻值完全相同的熱絲，其中，R1和R2在同一個氣流管道里面，而R3和R4在另外一個氣流管道里面。當R1和R2管道通入載氣和樣品氣的混合氣，R3和R4管道通入載氣時，由于熱導的差異性導致電橋會輸出與熱導系數成線性關系的信號。這就是Micro TCD的檢測原理。

熱絲材料的選擇對于Micro TCD最后的性能有重要的影響。Pt材料電阻率大、不易氧化、機械強度好、易于實現MEMS加工，因此最終被選為Micro TCD的熱絲材料。同時，為了降低氣流抖動和震動對于Micro TCD性能的影響，在設計中使用了Si3N4作為Pt熱絲的支撐材料，通過周圍的12個錨點連接在硅基底上。在經過濺射、深刻蝕和鍵合等工藝流程之后，實驗室最終成功制備了死體積僅為 200 nL的Micro TCD。其中一支熱絲的掃描電鏡(scanning electron microscope,SEM)圖如圖2所示。

圖2 熱絲的SEM圖

2 Micro TCD的噪聲分析

在工程上,一般認為當信號的幅值大于噪聲幅值的3倍時，該信號可被視為有效信號，即Micro TCD的最低檢測限

(1)

式中 LOD為MicroTCD最小檢測限，N為MicroGC噪聲幅值，S為MicroTCD的靈敏度。

由式(1)可知，對于MicroTCD，它的最低檢測限與噪聲的幅值成正比。所以，為了降低MicroTCD的噪聲檢測限，應該盡量減小MicroTCD的噪聲。

MicroTCD的噪聲源主要來自于氣流抖動、震動、橋流的變化、熱噪聲和環境溫度的變化等。其中，氣流抖動和震動引起的噪聲可以通過優化MicroTCD的結構來降低，精密恒流源的設計可以減小橋流的變化引起的噪聲，而熱噪聲可以通過優化電路設計來降低[8]，所以,在此本文作者主要考慮環境溫度變化對于TCD噪聲的影響。為了量化MicroTCD中基底溫度的變化對熱絲采集到的信號的影響，采用COMSOL對其進行仿真。仿真模型如圖3所示。

圖3 熱絲的COMSOL模型

具體的仿真條件為：流經Pt熱絲的電流為20mA，氣體流量為1mL/min，熱絲與基底的接觸面的溫度為150～150.5 ℃。得到的150 ℃和150.5 ℃的熱絲電壓和溫度場的分布如圖4和圖5所示，熱絲電壓和錨點的溫度的關系如圖6所示。

圖4 錨點150 ℃時熱絲仿真結果

圖5 錨點150.5 ℃時熱絲仿真結果

圖6 Pt熱絲電壓與錨點的溫度的關系

由仿真結果分析可知，基底溫度每波動0.1 ℃會帶來約40μV的輸出電壓的變化， 雖然由于TCD的惠斯通電橋結構的對稱性，溫度變化實際引入的噪聲會低于40μV[11]，但是實驗證明,溫控的精度對于MicroTCD檢測的靈敏度依然具有重要的影響。

3 溫控模塊的設計與實現

3.1 硬件電路部分

MicroTCD的封裝使用的是17mm×14mm的DIP金屬管殼，加熱裝置使用的是12V，15W的10mm×20mm的陶瓷加熱片。溫度傳感器選用的是小型可表貼的Pt100電阻,MCU選用的為低功耗的MSP430F5438A。

溫控電路如圖7所示。其中,Pt100與阻值為100Ω的低溫漂精密電阻和2只15kΩ的電阻器組成惠斯通電橋，接在2.5V的基準電壓上。利用Pt100的優良的電阻—溫度線性特性使得橋路輸出電壓信號。然后將信號使用AD620放大，接入單片機ADC的模擬輸入端，從而將溫度信號轉換為對應的數字信號。

在單片機內部，根據采集的溫度信號值，使用PID算法計算出要達到相應溫度的控制MOS管Q5—1的脈寬調制(pulsewidthmodulation，PWM)信號的占空比，從而實現溫度控制。

圖7 Micro TCD溫控電路原理圖

3.2 PID溫控算法參數的整定

PID控制算法是基于對系統偏差的比例P(proportion),偏差的微分D(derivation)和偏差的積分I(integration)進行線性運算，從而輸出控制信號的閉環算法。其實現原理如式(2)和式(3)

e(t)=r(t)-y(t)

(2)

(3)

式中 r(t)為PID系統的設置值，y(t)為PID控制系統輸出值，e(t)為設置值與系統實際輸出值的偏差,Kp為偏差的比例系數，Ki為偏差積分的比例系數，Kd為偏差微分比例系數。

PID控制器結構簡單，實現難度低，且具有很強的魯棒性，是一種被廣泛運用于工業控制領域的算法。然而此控制器能否在實際運用中取得到好的效果取決于比例，微分和積分系數的整定，這也是此控制器的難點部分[9～11]。目前常用的用于整定這些參數的方法有Zigler-Nichols法，ISTE最優整定法Cohen-Coon法[13]和工程上常用的臨界比例法。在本文中采用的是臨界比例法。

臨界比例法的步驟：

1)不考慮微分項和積分項，通過強化比例項的作用，使得系統到達等幅振蕩的狀態。

2)依據經驗公式整定最后的Kp，Ki，Kd參數，將系統調節到穩定的狀態。

經過多次的實驗和整定，陶瓷加熱片系統的傳遞方程為200/(38×S)+1。在Matlab中，當溫度設置為150 ℃時，依據臨界比例法整定出相應的PID參數。將參數進行微調后，得到如圖8所示的溫度調制曲線。

圖8 Matlab仿真的溫度調制曲線

正如圖8所示，Matlab給出了精確控溫的PID參數值?？販亟Y果超調量小，且不存在震蕩。但是在實際的溫度控制過程中，由于實際的系統傳遞方程與仿真中的會有偏差，且可能會出現外界的干擾。所以，在實際應用中應該進行參數的調整。

3.3 溫控效果

將Matlab整定好的PID參數應用于溫控程序中，并不斷地根據實際情況進行調整。當設置溫度T為150℃時，最后得到的溫控的效果如圖9所示。

圖9 實際的Micro TCD溫度控制曲線

溫控結果顯示：大體上溫度在200s保持穩定，穩定后的溫度的均方值誤差為0.09 ℃。

4 結 論

本文結合了微型TCD的特點，采用COMSOL仿真量化環境溫度的變化對于噪聲信號的影響。同時使用小體積的陶瓷加熱片作為加熱源，采用PID算法對溫度信號進行控制，最后得到的控溫精度為0.09 ℃，達到國內商用氣相色譜儀中使得MicroTCD正常工作時對溫度的要求。

本文所得到的溫控系統達到溫度穩定的時間約為3min。在后期的MicroGC的制備中，可以進一步優化算法，以更快地實現控溫。

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Research of temperature controlling module of micro thermal conductivity detector*

YOU Wen-bin1,2, FENG Fei1， YU Zheng-yin1， GE Xiao-hong1， LIU Ming1， LI Xin-xin1

(1.Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology，Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China; 2.University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China)

The main noise of micro thermal conductivity detector(micro TCD),the key part of micro gas chromatograph(GC) system,comes from temperature fluctuation and gas flow noise.Main sources of micro TCD noise is theoretically analyzed,effect of temperature fluctuations on the micro TCD noise is simulated with COMSOL,and electric circuit and the algorithm of the heating module is described in details.Test show that temperature fluctuations of micro TCD is about 0.09 ℃,which reach standard of commercial GC temperature control precision.

micro gas chromatograph(GC); thermal conductivity detector(TCD); noise; PID algorithm

10.13873/J.1000—9787(2017)02—0011—03

2016—04—11

上海市科委項目(14DZ1105102)；國家自然科學基金資助項目(60876081，61172151)；國家“863”計劃資助項目(2009AA04Z317)

TN 609

B

1000—9787(2017)02—0011—03

游文斌(1992-)，男，碩士，主要研究方向為微型氣相色譜儀系統電路。

馮 飛，男，通訊作者,博士，研究員，主要從事微納器件研究工作，E-mail: fengfei507@mail.sim.ac.cn。