微系統及其加工方法的介紹

微系統及其加工方法的介紹

孔亞君

(南昌航空大學，江西 南昌 330063)

摘要：微細加工技作為現代加工技術的延伸，是二十一世紀的關鍵技術之一。本文介紹了微機電系統的原理及特點，列舉了一些微機電系統中所涉及到的微細加工方法，并闡述了其發展及應用。

關鍵詞：微機電系統微細加工技術微機電微電子

微系統技術，最早被美國提出[1-2]，簡稱MEMS(micro electro mechanical system)。微電系統是指微機械加工技術以及微電子技術(IC)的結合，能夠批量制作，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理，并且融合控制電路、接口、通訊等于一體微型系統。微系統開辟了一個全新的技術領域，在21世紀的今天，伴隨著環保、醫藥、通訊等各個領域的迅猛發展，對于功能化、微型化的器件的需求量與日俱增，這其中就需要各種微加工方法的出現，否則制造不出微型器件，何談微系統。從上世紀60年代微系統的出現到如今，各種微細加工方法的出現逐步的完善了微系統領域，并且呈現了愈發進步的趨勢。

1微系統的介紹

一般認為，微電子機械系統通常指的是特征尺度大于1μm小于1nm，結合了電子和機械部件并用IC集成工藝加工的裝置。微機電系統是多種學科交叉融合具有戰略意義的前沿高技術，是未來的主導產業之一。微系統自八十年代末開始受到世界各國的廣泛重視，主要的技術途徑有以下三類：一是以美國為代表的硅基微加工技術；二是以德國為代表發展起來的利用X射線深度光刻、微電鑄、微鑄塑的LIGA技術；……