模塊化組合式氣體純化器和氬氣純化系統(tǒng)

申請(qǐng)(專利)號(hào):201520005021.2

公開(公告)日:2015-07-01

申請(qǐng)(專利權(quán))人:南京特種氣體廠有限公司

本實(shí)用新型公開了一種模塊化組合式氣體純化器，包括密封罐體、進(jìn)氣管和出氣管，進(jìn)氣管由密封罐體頂部通入密封罐體底部，出氣管設(shè)于密封罐體頂部;密封罐體內(nèi)部裝有若干個(gè)吸氣劑模塊，每個(gè)吸氣劑模塊包括一容器和充裝在所述容器中的吸氣劑。本實(shí)用新型公開還公開了一種包括上述純化器的氬氣純化系統(tǒng)，高純?cè)蠚鍤庠唇?jīng)過(guò)第一開關(guān)閥連接至純化器的進(jìn)氣管，配器瓶經(jīng)過(guò)第二開關(guān)閥連接至純化器的出氣管，氣相色譜儀經(jīng)過(guò)第三開關(guān)閥連接至純化器的出氣管。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，使用方便，提高了純化器整體效率，減少再生及更換次數(shù)，降低了純化成本，能夠?qū)崿F(xiàn)高純氬氣的純化，純化產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。