JEM-2000EX電子顯微鏡真空故障排除

魯國華，李科，許紅

大連市第三人民醫院 放射科，遼寧 大連 116033

JEM-2000EX電子顯微鏡真空故障排除

魯國華，李科，許紅

大連市第三人民醫院 放射科，遼寧 大連 116033

本文介紹了JEM-2000EX電子顯微鏡真空故障分析及處理方法。

電子顯微鏡；油擴散泵；真空度；燈絲室；醫療設備維修

0 前言

電子顯微鏡集成度高，結構復雜，計算機控制，它在醫療和科研中發揮了重要作用，在使用JEM-2000EX電子顯微鏡過程中會產生真空不良的問題，下面將實際遇到的故障維修過程進行分析。

1 故障現象

晚間抽真空情況下，早晨開機，2 min后，在顯示器上顯示的閥門圖標有V12、V13亮燈，其他的閥門為滅燈，機器抽真空20 min以后，閥門V5、V7、V10、V12燈亮，其他閥門燈滅，30 min后，系統的真空度還是很低，機器不能進入到正常工作狀態。

2 故障分析及處理

查看顯示器上顯示的皮拉尼真空規測量的真空電流值分別為PI1=216 μA，PI2=214 μA，PI3=187 μA，PI4= 169 μA，說明機器處于低真空狀態；機器正常工作時的皮拉尼真空規測量的真空電流值分別為PI1=29 μA，PI2= I25 μA，PI3=35 μA，PI4=124 μA，PI1數值表示鏡筒室真空度的高低，PI2數值表示燈絲室真空度的高低，PI3數值表示觀察室及相機室真空度的高低，PI4數值表示一級油擴散泵前級管路真空度的高低；顯示器上顯示的閥門圖標V1、V2、V3、V4、V5、V6A、V6B、V7、V10、V12、V13都有相對應的元器件實物，V23沒有在顯示器上顯示閥門圖標只有實物；V1、V23是手動閥門，需要人為手動方式開啟或者關閉；V2、V3、V4、V5、V6B、V10是氣動閥，需要機器發出指令來控制改變氣流方向，達到閥門開啟或者關閉；V6A、V7、V12、13是電磁閥，需要機器發出指令來通電或者斷電，達到閥門開啟或者關閉；顯示器上顯示燈亮的閥門圖標表示閥門是打開的狀態，燈滅的閥門圖標表示閥門是關閉的狀態。

機械泵是油擴散泵的前級真空泵，在油擴散泵工作時，如果它內部的油蒸氣中含有大量空氣，油蒸汽極易燃燒，所以機械泵抽真空使燈絲室和鏡筒室真空度升高到一定程度以后，機器才能進行下一個抽真空動作，即打開閥門V4，關閉V10、V7；此時的故障，V4、V6A、V6B、V13閥門燈滅，閥門V12燈亮，說明PI4=169 μA數值是正常值；與觀察室及相機室有關的閥門V3、V6A、V6B、V9都是關閉的，說明PI3=187 μA數值是正常值；機械泵經過V10、V7、V5，同時對燈絲室和鏡筒室抽真空，PI2=214 μA，PI1=216 μA，兩個室的真空度很低，說明燈絲室橡膠密封圈、管路、燈絲室和鏡筒室之一、閥門可能有漏氣；更換燈絲室涂有真空脂的橡膠密封圈，觀察PI1、PI2的數值沒有改變，真空沒有好轉；V2的氣體接頭是快速接頭，對調兩個快速接頭，人為改變氣體流動方向，使V2打開，在顯示器上顯示的V2閥門圖標沒有改變狀態，是因為電路中的信號沒有改變，觀察PI1、PI2的數值沒有改變，V2沒有問題，恢復V2氣體接頭到原始狀態；對調V5的氣體接頭，關閉V5，觀察V5閥體后面孔內的圓柱運動，圓柱運動說明V5沒有故障，同時觀察PI1、PI2的數值沒有改變，說明鏡筒室及其相關部分沒有泄漏真空，燈絲室及其相關部分有漏真空，只有這樣PI1、PI2的數值才不會改變，他們同時漏真空的可能性比較小，關機，迅速觀察PI1、PI2、PI3、PI4數值，只有PI2快速上升到255 μA，PI1、PI2和PI3數值改變很慢，說明燈絲室和與其相連部分有漏真空，恢復V5氣體接頭到原始狀態；與燈絲室相連的電子槍氣體室充有氟利昂，電子槍氣體室中有高壓電路元件，他們打火能夠損壞燈絲室和電子槍氣體室之間的夾層，氟利昂如果進入到燈絲室，PI2的數值也很高，V23有三個位置，放氣、關閉、抽真空，通過V23置于放氣位置，把氟利昂放掉，再把V23置于抽真空位置，開機抽真空，經過半個小時甚至更長時間以后，故障仍然沒有好轉，說明電子槍氣體室與燈絲室之間沒有泄漏，將V23置于關閉位置；與燈絲室相連的器件只剩下抽氣管道波紋管，關機，卸下波紋管，用橡皮塞堵住機器的兩個端口，開機，對調V2的氣體接頭，使V2打開，機械泵通過V2、V5、V7、V10對燈絲室和鏡筒室抽真空，觀察PI1、PI2的數值分別下降到170 μA和168 μA，油擴散泵可以對燈絲室和鏡筒室抽真空，說明波紋管漏真空，經檢查發現波紋管上有一小部分輕微壓平狀變形，在變形處有裂紋。關機，恢復V2氣體接頭到原始狀態，打開氟利昂氣瓶閥門，給電子槍氣體室注入氟利昂，壓力表針向右指示到2表示氟利昂已經充滿，關閉氟利昂氣瓶閥門，更換新的波紋管，開機，抽真空，各個PI數值恢復正常，機器正常工作，故障排除。

3 小結

在維修中，真空問題會由許多原因造成，閥門損壞，膠圈老化，真空檢測元件不良指示錯誤，電路故障，氣路壓力不正常，真空泵工作不良等，應當不斷積累維修經驗，理清思路，引導到正確方向，不能盲目拆卸更換，使故障擴大化，避免和減少不必要的損失。

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Vacuum Troubleshooting of JEM-2000EX Electron M icroscope

LU Guo-hua,LI Ke,XU Hong
Department of Radiation Oncology, The Third People’s Hospital of Dalian, Dalian Liaoning 116033,China

R197.39

B

10.3969/j.issn.1674-1633.2015.11.060

1674-1633（2015）11-0170-02

2015-03-22

2015-04-27

作者郵箱：lllghth86@sina．com