D—JADE混合產(chǎn)品批間控制技術(shù)

摘要：針對混合產(chǎn)品半導(dǎo)體制程，采用了一種多重輸入輸出批間控制技術(shù).該技術(shù)從目前的單機、單產(chǎn)品與單變量的批間控制技術(shù)，推廣至多機、多產(chǎn)品與多變量的批間控制.所設(shè)計的D-JADE控制器采用兩個預(yù)測器，分別預(yù)測制程位移與漂移造成的擾動，然后對下一批次的制程輸入做補償控制，使制程輸出控制在期望值.為了驗證采用的控制算法，設(shè)計了半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的干擾模型，并利用此模型對D-JADE和D-EWMA進行了仿真比較。由仿真結(jié)果可知，所采用的控制器比傳統(tǒng)的D-EWMA控制器具有更好的預(yù)測與控制效能。