《微光學和納米光學制造技術》介紹

微納米光學的重要特征是光學結構和器件的特征尺度在微納米量級，是微納米技術與微電子、激光、光電子、通信等多學科交叉而迅速發展起來的一門科學。微納米光電元件和系統在發展上最重要的優勢，除了具備體積微型化、重量超輕、集成化、規模化和低成本外，更值得注意的是可以通過微納光學制造技術，預先能夠將光學和電子器件之間的相對位置精確定位，無需再進行非常麻煩和耗時的調整對準，系統的穩定性和可靠性得到非常大的提高。另外，微納米光學系統可以非常方便地與其他功能的光電系統進行融合、集成和組合，會產生更為廣闊的應用和發展。

之前翻譯出版的《微光學》和《微光機電系統》(國防工業出版社)，都偏重于微納米光學的理論研究和設計，而不容忽視的是，微納米光學制造技術正是實現微納米光學研究成果產業化，從實驗室走向實際應用的關鍵技術。

微納米光學制造技術基本上朝著兩個方向發展:一是尋求更簡單便宜的微納米結構生產方法，即在非極限環境條件下大面積生產微納米結構的復制技術，包括納米印制技術、納米壓模技術、軟光刻技術和微接觸印制技術。其研究方式不是利用光學和電子等物理學工具，而是應用日常生活中所熟悉的機械過程。二是應用物理、化學或生物方法制作均勻性很好、有特殊功能的微納米顆?；蛳到y，例如用原子、分子束外延方法生長半導體量子點陣等。

《微光學和納米光學制造技術》一書的特點:

1.采用微光學和納米光學制造領域中具有最新技術的文獻內容;

2.比較詳細地展示與微光學和納米光學元件有關的成功制造工藝;

3.重點給出一些基本的，鮮為人知的技巧，而不是泛泛地提供廣為流傳的工藝基礎。該書的主要內容包括:

第一章 加工面浮雕形衍射光學元件

第二章 利用等離子體蝕刻技術加工微光學元件

第三章 利用相位光柵模板的模擬蝕刻技術

第四章 加工納米光學器件的電子束蝕刻技術

第五章 納米刻印技術和器件的應用

第六章 平面光學塑料的設計和制造

第七章 3D平面塑料的制造:模塑鎢法

本書可供光電子領域從事光學儀器設計、光學設計和光機結構設計(尤其是從事光學成像理論、微納米光學研究)的研發設計師、光機制造工藝研究的工程師閱讀，也可以作為大專院校相關專業本科生、研究生和教師的參考書。