耿錦啟 開啟國產ＩＣ裝備的夢想

耿錦啟 在集成電路設備領域工作30余年，歷任北京建中機器廠（國營700廠）技術員、車間主任、副廠長，現任北京科控微電子系統工程有限責任公司董事、總經理，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司董事、總經理。從“七五”至“九五”期間，曾主要參與多項國家集成電路設備重點攻關任務。2003年4月至今，承擔了國家“十五”863集成電路制造裝備重大專項“100nm高密度等離子刻蝕機”的研制任務。

2006年9月，北方微電子公司自主研發(fā)的100納米高密度等離子刻蝕機在北京通過了科技部與北京市組織的項目驗收。同時，北方微電子與知名的大型集成電路代工廠簽訂了刻蝕機的批量采購合同，這是我國國產主流集成電路制造核心設備第一次實現銷售。2006年到2007年間，北方微電子共有三臺設備交付大生產線使用，設備運行穩(wěn)定，2008年底前已收回第一筆回報。此前，從國外進口一臺刻蝕機大約需要350萬美元，而北方微電子公司自主研發(fā)的刻蝕機將這個價格降低到240萬至250萬美元之間。

耿錦啟見證了公司的整個創(chuàng)立、成長過程，他將IC裝備制造業(yè)的特點總結為三點，“投資大、周期長、回報慢”，這樣的產業(yè)靠民間投資相當困難。此前，盡管國內IC產業(yè)的需求極大，約占全球市場的30%～40%，但在大型IC生產線上，國產裝備一直是空白。直到“十五”計劃出臺，國內IC裝備產業(yè)有了一個發(fā)展的機會?！笆濉逼陂g，科技部選擇了光刻機、刻蝕機、離子注入機三個最關鍵的工藝設備作為集成電路裝備的突破重點，而北方微電子就是為了承接“十五”項目專門成立的?！?br>