盛美上海王暉“ 陰差陽錯”的大國工匠

張賀

截至5月5日收盤，科創板公司盛美上?？偸兄颠_到466億元，超過了4，900多家A股公司。但誰能想到，這家打破海外壟斷的半導體設備公司，卻是一個“意外”。創始人王暉經歷了一次又一次“陰差陽錯”的選擇，最終成就了如今的盛美上海。而跨越中、日、美三國的求學經歷，也讓王暉與其他半導體大佬有所不同。

新老朋友聚首，難免提到上學時分科或分專業的往事，再順帶暢想一下沒有經歷的另一種人生。如果王暉遇到這個話題，或許會暢想兩次。

高考恢復第二年，王暉以貴陽四中第一的成績進入清華大學精密儀器系。但其實王暉并沒有報考清華，他第一志愿是北大物理系，第二志愿是浙大。不過因為有輕微色弱，王暉被認為不適合學習物理。北大招生老師就把王暉推薦到清華，恰好當年清華精密儀器系對色弱沒有限制。

就這樣，王暉從心心念念的物理專業轉到了精密儀器專業。在清華除了理論層面的學習，王暉還親自操作了車、洗、磨床等實操工序。這些都為后來的深造打下基礎。

1984年，王暉獲得清華大學代招的教育部公派留學日本的指標赴日留學。不過王暉卻不得不再次換方向。原本要跟隨的東京大學精密工學科工業機器人專業教授即將退休，這名教授就將王暉推薦到大阪大學。在大阪大學安排的面試交流中，王暉放棄了工業機器人方向，改為森勇藏教授研究的半導體精密加工和半導體設備。

原本要學習物理的貴州娃，因為兩次不得已的選擇，最終在大阪大學研究起了半導體設備，并取得了工學碩士和博士學位，趕上了日本的半導體浪潮。

博士畢業后，王暉又赴美留學。1993年，王暉加入QuesterTechnology公司，從工藝工程師到研發部經理，期間獲得6項美國專利，方向是大氣壓CVD設備及工藝。

常言道：機遇偏愛有準備的人。1998年半導體行業的一件大事就把王暉推到了創業的路上。這年，IBM宣布推出世界上第一個采用銅金屬材料的微處理器，半導體制程工藝也由此進入銅互連時代。恰好王暉在大阪大學曾系統學習過精密鍍銅、電拋光等內容，他提出可用于超薄仔晶層的多陽極局部電鍍銅（MultiAnodePartialPlating）技術，成立了ACMResearch（盛美半導體）。

但是任何產業的發展都不可能僅由某一個環節帶動。因為技術太過前沿，此時ACMResearch的無應力銅拋光（SFP）技術還很難找到市場。王暉也一度想過賣掉ACMResearch。

不得不說，王暉總能遇到貴人相助。和中微公司的尹志堯類似，上海半導體的傳奇人物江上舟也找上了王暉。最終上海發展半導體產業的決心打動了后者，2005年盛美上海應運而生。有了之前的挫折，這次王暉的思路十分清晰，把市場規模更大、國產尚屬空白的單片清洗設備作為突破口。

2008年，盛美上海的SAPS技術研發成功，克服了傳統兆聲波工藝中兆聲波能量在晶圓表面分布不均勻的問題，同時還能更好地消除芯片創造期間互聯結構中的殘留物和其他隨機缺陷。2015年，TEBO技術研發成功，進一步解決了傳統兆聲波清洗難以控制氣泡進而對晶圓表面圖形結構造成損傷的問題。2018年研發成功的Tahoe清洗設備則在保證清洗效果的同時，可以大幅減少硫酸使用量，幫助客戶降低成本和節能減排。

無論是SAPS、TEBO還是Tahoe，均為盛美上海全球首創，而且市場開拓也較為順利。2009年SAPS清洗設備進入全球存儲器龍頭企業韓國海力士開展產品驗證，2011年公司用于12英寸45nm工藝的SAPS清洗設備首次取得海力士的正式訂單，并于2013年獲得了海力士的多臺重復訂單。

隨著產品獲得了國際先進客戶的認可，盛美上海在業界打出名堂，又于2015年后順利取得了長江存儲、中芯國際及華虹集團等客戶的訂單。

有了訂單，業績自然手到擒來。2018年，盛美上海營業總收入和歸屬母公司股東凈利潤分別同比增長116.99%和751.98%。2019-2020年，雖然歸母凈利潤同比增速遠不如2018年，但也都在45%以上。

除了業績水漲船高，王暉在資本市場也連連收獲。2017年ACMResearch登陸納斯達克，2021年盛美上海也在科創板上市。

雖然盛美上海清洗設備的國內市占率已達到23%，全球份額也躋身前五，但清洗設備市場空間畢竟有限，只占整個半導體設備市場規模的6%左右。因此，對盛美上海和王暉來說，向其他設備拓展不可避免。

除了在半導體清洗設備繼續深耕，盛美上海的武器庫還增加了半導體電鍍設備、半導體拋銅設備、先進封裝濕法設備、立式爐管設備等，是全球少數幾家掌握芯片銅互連電鍍銅技術核心專利并實現產業化的公司之一。曾經因為太過前沿而難有用武之地的無應力銅拋光（SFP）技術也隨著半導體工藝的進步而找到市場。

在盛美上海的營收構成中，半導體清洗設備的占比從2018年的91.11%降至2022年72.34%，毛利占比也從91.76%降至71.43%。

而且這種情況還沒有停止。

2022年年報顯示，去年盛美上海在立式爐管設備、涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備、先進封裝用金屬剝離濕法設備、新型化合物半導體系列濕法設備、化學機械研磨后（Post-CMP）清洗設備等取得新的突破。尤其是氣相沉積設備是半導體制造的三大核心設備之一，該設備的拓展為盛美上海進一步打開成長空間。

這背后自然離不開對研發的持續投入。數據顯示，2018-2022年盛美上海研發投入占營業收入的比例從未低于13%，2021年甚至達到17.18%。近兩年研發人員數量占比也在44%左右。2019-2022年，盛美上海的技術人員占比也從未低于40%，本科及以上學歷人員占比也基本維持在6成左右，2022年則提高到67.31%。

需要注意的是，在此前幾年沒有將研發投入資本化的盛美上海，2022年資本化研發投入占研發投入的比例達到11.2%，對其業績產生積極影響。當然，相比去年同比增長151.08%、6.68億元的歸母凈利潤，不足5，000萬元的資本化研發投入似乎影響不大。而且同類公司中，北方華創和中微公司也早已將研發投入資本化。但這種突然的變化卻不能忽視。

不過，相比中微公司、兆易創新、芯源微、拓荊科技等半導體企業要么控股權捉襟見肘，要么沒有實控人，王暉的牌要好打得多。2023年一季報顯示，王暉控股的ACMResearch持有盛美上海82.5%的股權，這在整個A股都極為罕見。

翻看ACMResearch和盛美上海的發展歷史，關于融資的內容和金額確實較少。究其原因，半導體設備的科班出身幫助王暉在產品研發上更游刃有余。而從單片清洗設備入局的單點突破和差異化競爭策略，則幫助盛美上海更快地實現產品突破和訂單積累。1998年成立的母公司ACMResearch，在21世紀初通過銷售基于無應力銅拋光技術的工具，也使得盛美上海不至于從零開始。

而更深層的原因，則是王暉求學時兩次“陰差陽錯”的抉擇，讓他最終成了半導體設備的大國工匠。