Mems在電力設備檢測中的應用

褚文超 賈建忠 牛佳榮

（烏蘭察布電業局 內蒙古自治區烏蘭察布市 012000）

當前配電站向智能化方向發展，基于Mems的配電站智能化電力監控系統設計按照人本思路，為確保配電站安全可靠運行創造基礎條件。本文分析電氣設備智能化可能性，得出微電氣設備特點。

1 Mems可靠性測試電學測量系統研究

電學測量是利用電子技術測量方式，由于電子技術頻率范圍廣等優點，迅速應用于國民經濟各領域。電學測量內容廣泛，包括點能量測量，信號特性測量等方面。電學測量具有測量準確度高，測量頻率范圍廣，易于實現遙測等特點。電學測量廣泛應用于天文觀測、復雜生命細胞遺傳及工農業生產等各領域。目前電子測量設備在性能、工藝結構等方面取得很大進展，生產向系統化、高性能等方向發展。

1.1 Mems器件主要失效模式

Mems技術在工業中應用對各領域產生重大影響。可靠性是產品規定條件下完成功能能力，規定時間是保證時間，可靠性研究在產品研發設計中占據重要地位。產品可靠性特點體現在與規定時間功能密切相關。Mems器件可靠性困難，由于Mems設計加工根據用戶要求進行，可以建立通用的方法對失效器件進行量化評估分析，Mems失效模式包括斷裂屈服，磨損蠕變、粒子污染等。斷裂失效是構件在荷載下無明顯破壞前兆發生突然破壞現象，常見斷裂失效類型分為突然與疲勞斷裂。塑性材料隨著荷載增加應變增大，應變增加現象稱為屈服。……