可充電便攜式透射電鏡樣品電動真空移樣器研制

陳超宇，宋泉榮，徐恩澤，呂 斌

(大連交通大學 材料科學與工程學院，遼寧 大連 116028)

1 引 言

透射電子顯微鏡因其高的放大倍數和高的分辨率，在材料分析領域尖端研究中的作用越來越重要。由于需要對電子束透明，其樣品極薄，電子束透明區域的厚度一般要小于100nm[1，2]。目前，在透射電鏡樣品制備和電鏡透射操作過程中，通常用不銹鋼鑷子夾取。在夾取樣品過程中，由于人手的抖動和用力大小不穩定，易碎材料的樣品有可能破碎，易變形材料的樣品有可能發生變形，而帶磁性的樣品有可能吸附在鑷子上，這都給操作帶來難度和不便，甚至會破壞樣品。對于有磁性或易磁化的樣品進行透射電鏡分析時，還存在另外兩個問題[3，4]：

首先，透射電鏡的照明光源是會聚的電子束。電子束離開電子槍后，經過多級磁透鏡到達和穿透樣品，最后到達熒光屏或相機，得到圖像。樣品具有磁性后，將影響磁透鏡磁場的對稱度，使光路合軸的難度大大增加，像散增大，較難獲得高質量、高分辨率的圖像。

其次，樣品在制備和放入電鏡樣品臺的過程中需要搬移，目前通常使用不銹鋼尖鑷子完成。樣品帶有磁性后會吸附在鑷子上，拿得起來放不下，難以實現樣品精準放置，有時還可能破壞樣品。因此，透射電鏡用的鑷子通常選用無磁不銹鋼鑷子。但所謂的無磁，只能說是初期無磁，用過一段時間后都會或多或少地被磁化。用磁化了的鑷子夾取易磁化的樣品，會使樣品帶有磁性，不僅使搬移難度增加，也將影響到后續的圖像質量。……