電子工業含磷酸廢液資源化處理技術研究

李 洋，盧正杰，張 奎

（上海天漢環境資源有限公司，上海 201306）

近年來，受國際形勢及經濟發展的驅動，我國電子工業高速發展，半導體等行業的發展已列入國家“十四五”規劃，相關化學品的需求逐年增多，作為其中關鍵化學品，電子級磷酸的需求增長顯著。電子級磷酸又被稱為超高純磷酸，是磷酸工業皇冠上的明珠，主要用于芯片的清洗、蝕刻，其潔凈度和純度對電子元器件的性能、可靠性及良品率影響很大，例如，在晶圓的加工過程中，若其被雜質污染，將導致集成電路（IC）的產率下降約50%。因此，為了保證產品的可靠性，獲得高產率的大規模集成電路，電子工業必須使用高純電子級磷酸進行清洗，并不斷將新電子級磷酸補充到生產過程。隨著集成電路規模逐年增大，含磷酸廢液產生量不斷上升。

1 含磷酸廢液的產生

面板行業和集成電路行業是電子工業的典型代表，電子級磷酸在其中應用廣泛，其實際的使用工藝有所差別，產生的含磷酸廢液有很多不同特性。

1.1 磷酸在面板行業的應用

在薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）的制作工藝中，鉬鋁金屬層蝕刻用的蝕刻液主要由磷酸、硝酸及醋酸混合而成，各自的比例介于60%～65%、1%～5%、4%～6%。反應機制主要為：先利用硝酸的強氧化性將鋁金屬層氧化成氧化鋁，再由磷酸與氧化鋁反應生成可溶性的磷酸鋁，其中醋酸為緩沖溶液，扮演H提供者的角色，使蝕刻率維持穩定。

1.2 磷酸在集成電路行業的應用

在集成電路的生產過程……