一種HF電子氣體的反應性超聲精餾提純方法

申請(專利)號：202010073972.9

公開(公告)日：2020-10-23

申請(專權)人：浙江凱圣氟化學有限公司

浙江博瑞電子科技有限公司

摘要:本發明是關于一種HF電子氣體的反應性超聲精餾提純方法，本發明在含微量水的液化HF中分別加入少量碳酰氟、氯化亞砜，通過精餾去除、碳酰氟或氯化亞砜與水分反應生成的CO2或SO2，達到HF脫水提純的目的；另外，將液化HF置于超聲場中進行精餾提純，能夠為促進碳酰氟、氯化亞砜與液化HF中微量水分的反應，加速CO2或SO2從液化HF中的逸出，有效降低CO2或SO2在液化HF中的殘留；本發明屬于水分反應性轉化與超聲除氣耦合方法，具有純度高，水分含量極低的優點。