一種砷烷的合成提純方法

申請(專利)號：202011385329.6

公開(公告)日：2020-10-23

申請(專權)人：深圳市博純半導體材料有限公司 博純材料股份有限公司

摘要:本發明涉及一種砷烷的合成提純方法，包括：步驟一：將鋅粉和砷粉放入石英器皿內混合均勻再置于不銹鋼反應罐內抽真空并充入高純惰性氣體，加壓加熱得到砷化鋅粉末；步驟二，砷化鋅粉末至于反應器中，加入稀硫酸反應生成粗制砷烷氣體；步驟三，將粗制砷烷氣體通入吸附裝置得到砷烷氣體；步驟四，使用液氮冷阱捕集砷烷氣體，使砷烷氣體冷凝為液態砷烷，使用真空泵抽去不凝氣體并取下冷肼外的液氮罐，使砷烷揮發，得到純凈的砷烷氣體；步驟五：將純凈的砷烷氣體通入預先處理過的潔凈鋼瓶中進行保存，得到成品。能夠有效減少砷烷氣體內的雜質，提高本發明所述砷烷的純度，同時，將吸附劑的加入和分子篩的選擇放在一個裝置內進行能夠提高反應效率。