低沸點電子氣體密閉取樣系統

及取樣方法

申請(專利)號：202011121741.7

公開(公告)日：2020-12-11

申請(專權)人：唐山三孚電子材料有限公司

摘要:本發明公開了一種低沸點電子氣體密閉取樣系統及取樣方法，涉及低沸點氣體取樣技術領域。低沸點電子氣體密閉取樣系統，包括取樣瓶、吹掃置換系統和冷卻系統；冷卻系統包括冷卻筒，冷卻筒筒壁設有與外部管線連通的夾層，夾層中裝有冷媒，外部管線上裝有循環泵，冷卻筒中裝有取樣瓶；取樣瓶兩側分別設有進氣管和出氣管，進氣管和出氣管分別通過三通閥門與吹掃置換系統連接，吹掃置換系統包括高純氣體吹掃系統、樣品氣引入系統、吹掃氣檢測系統、廢氣排出系統和真空系統。本發明提出的取樣系統及取樣方法實現不同種類低沸點電子氣體的密閉取樣，有效防止空氣對產品造成污染。取樣系統采用冷卻筒對低沸點電子氣體進行冷卻液化富集，增大取樣量。