一種砷烷在線檢測裝置和檢測方法

申請(專利)號：201910623198.1

公開(公告)日：2021-01-12

申請(專權)人：東泰高科裝備科技有限公司

摘要:本發明提供了一種砷烷在線檢測裝置和檢測方法。該在線檢測裝置包括：砷烷濃度檢測器；水分檢測器，與砷烷濃度檢測器相連；氣質聯用儀，與水分檢測器相連，氣質聯用儀配置第一色譜柱、第二色譜柱、脈沖放電氦離子化檢測器和質量選擇檢測器，第一色譜柱用于分離砷烷中的氧氣、一氧化碳和二氧化碳，第二色譜柱用于分離砷烷中的硅烷、鍺烷、磷烷、羰基硫和硫化氫，脈沖放電氦離子化檢測器用于檢測砷烷中的氧氣、一氧化碳和二氧化碳，質量選擇檢測器用于檢測砷烷中的硅烷、鍺烷、磷烷、羰基硫和硫化氫。上述在線檢測裝置可以實時對砷烷中各組分的準確檢測。