航天火工分離用石墨烯二硫化鉬多層耐磨涂層及制備方法

專利申請(qǐng)?zhí)? CN201810996787

公開號(hào): CN109136924A

申請(qǐng)日:2018.08.29公開日:2019.01.04

申請(qǐng)人: 首都航天機(jī)械有限公司; 上海交通大學(xué)

本發(fā)明涉及一種航天火工分離用石墨烯二硫化鉬多層耐磨涂層及其制備方法，該涂層包括基底上的多層交替涂層，多層交替涂層由若干個(gè)涂層單元組成，每個(gè)涂層單元由一層二硫化鉬和一層石墨烯交替沉積而成，其中每個(gè)涂層單元內(nèi)二硫化鉬層的厚度為0.65～100 nm，石墨烯層的厚度為0.34～20 nm，涂層總厚度為10～2 000 nm。涂層制備過(guò)程包括：基底的預(yù)處理；多層涂層的沉積；涂層的后處理。其中沉積涂層單元時(shí)進(jìn)行金屬、非金屬摻雜，或在沉積每?jī)蓚€(gè)涂層單元之間引入稀有氣體進(jìn)行刻蝕。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明涂層結(jié)合兩種材料的摩擦磨損性能，通過(guò)沉積工藝調(diào)整增加涂層的致密性，制備出具有優(yōu)異耐磨性能的多層交替涂層，可作為航天火工分離裝置的固體潤(rùn)滑涂層。