固態Mo源的固體純化冷卻接收及計重裝置

專利申請號: CN201820695617

公開號: CN208320042U

申請日:2018.05.10公開日:2019.01.04

申請人: 江蘇南大光電材料股份有限公司

本實用新型涉及固態Mo源的固體純化冷卻接收及計重裝置，在手套箱臺面板上安裝手套箱，手套箱的夾套通過管路與冷凍機循環連接，接收罐置于手套箱中，接收罐通過波紋管連接出料管，手套箱的上方設有頂面廂板，頂面廂板懸掛一計重模塊，計重模塊與接收罐吊接，使接收罐懸浮于手套箱中，計重模塊與PLC數據采集分析記錄單元通訊連接。不僅實現固態Mo源的純化冷卻接收，還實現接收重量的計量，采用凝華接收，可以控制接收固體顆粒均勻狀，滿足MoCVD外延生長對于固體Mo源的要求；可直接分裝，防止操作過程中可能存在的二次污染，較好解決Mo源的純度和顆粒度問題；采用計重模塊，解決接收量的計量問題。