手術室和超凈車間，哪個更干凈？

哇，芯片上面的線路好密，如果生產過程中掉進去一顆灰塵會怎么樣呢？一顆灰塵都不行嗎？

是的，一顆灰塵也不行。正是因為芯片上面的線路排列得特別密，假如生產過程中有一顆灰塵掉進去，就可能會影響整個線路，甚至使芯片失去最初設計的功能，所以芯片上面必須非常干凈。

醫院的手術室和集成電路的生產車間都是對清潔度要求很高的地方，你猜猜哪個更干凈呢？

手術室——無菌室

手術室對清潔度要求非常高，為了防止感染，確保手術成功率，不但要求地面臺面干凈、人員穿著干凈，手術時，還必須鋪上無菌單、用無菌器械，甚至連空氣都是極干凈的。層流手術間采用空氣潔凈措施，將空氣中的塵埃粒子過濾，使細菌沒有載體傳播，目的是有效預防和控制感染的發生。

芯片生產車間——不僅僅是無菌

環境中雜質對半導體的特性有著改變或破壞其性能的作用，所以，在芯片的生產過程中，不僅要求生產車間無菌，還必須無靜電、無灰塵、無有害氣體。

而進出車間的人怎么辦呢？我們知道，人體及衣物的毛屑是一項主要粉塵來源，為此，人和物進出時，必須經過空氣吹浴程序，先將表面粉塵去除。另外，必須嚴格要求進出人員穿戴無塵衣，除了眼睛，均需與外界隔絕接觸（在次微米制程技術的工廠內，工作人員幾乎穿戴得和航天員一樣）。

你知道嗎？

◎大多數芯片制造商的“ISO1級”無塵室都能做到幾乎“零粉塵”。具體來說，在每立方米空氣中，100到200納米的顆粒不超過10個，且沒有大于200納米的顆粒。相比之下，一家干凈的現代醫院里，每立方米空氣中含有粉塵顆粒約10000個，這差距可不是一點點。

◎潔凈室用到的氣源是氮氣（98%），吹干晶圓的氮氣甚至要求是99.8%以上的高純氮！