盧俊男：匠心專注二十年，成為半導體芯片蝕刻領域佼佼者

史向前

他擁有在臺灣頂級芯片制造企業、臺灣第一家可以量產12英寸晶圓存儲器制造商茂德科技工作及擔任主管的豐富經驗；同時擁有在中國內地規模最大、技術最先進的集成電路芯片制造企業——中芯國際工作的獨特經歷。20余年來，他始終堅守在半導體芯片蝕刻技術領域的第一線，跟全球半導體芯片蝕刻領域同行和上下游供應商、客戶勠力同心，一起推動行業前沿產品的研發和量產制造，形成了前瞻性、國際化的視野，有許多對集成電路領域尤其是半導體芯片蝕刻方面持續創新的理念以及獨特的專業洞察。他，就是中芯國際集成電路制造（北京）有限公司工程部資深經理盧俊男。

結緣蝕刻技術，匠心積淀

1994年，18歲的盧俊男進入臺灣中興大學攻讀物理專業本科。1998年本科畢業后，由于興趣使然，他進入臺灣交通大學攻讀電子研究專業，之后便與集成電路結下了不解之緣。2000年畢業的時候，臺灣地區僅有少數研究團隊在此領域展開研究工作。帶著對知識的渴望和對世界一流半導體芯片設計、研發技術的向往，2000年研究生畢業后盧俊男進入茂德科技工作。

當時，茂德科技股份有限公司已經是全球知名的動態隨機存取記憶體設計、研發、制造及行銷公司，在臺灣地區屬于行業頭部企業，其擁有的先進設備、工藝和設計方法，無一不對盧俊男產生巨大的震撼與吸引，因此他不得不抓緊一切時間努力學習并研究相關知識。很快，盧俊男作為核心研發人員參與了茂德科技關于旋涂材料層平坦技術及光阻層制造技術、溝槽蝕刻方法等多項蝕刻專業技術的研發，由于其研究成果所具有的高端創新性和無可比擬的實用價值，盧俊男先后獲得了兩項發明專利，并得到美國版權局的認可；這些研究成果極大地促進了茂德科技半導體芯片蝕刻技術的發展。

2008年對于盧俊男來說是頗具重要意義的一年，在茂德科技工作8年之后，32歲的盧俊男帶著一身的技術和對行業的思考，滿載著成果進入內陸工作。先后在重慶渝德科技有限公司和中航（重慶）微電子有限公司擔任部門經理。面對全新的工作環境和研究條件，盧俊男心無旁騖，將自己的全部熱情和精力投入到工作和科研中。很快他的專業技能得到了業內同行的認可，身邊的同事評價他“工作勤奮認真，嚴于律己，善于奉獻”，并且展現出了“非常扎實的基礎理論、寬廣的專業知識和嚴謹的工作作風”，獲得了公司上下的一致認可與褒獎。

初心不變，方能行遠

時間總是會善待勤奮且聰明的人。盧俊男的一言一行無不流露著對行業滿腔熱忱與勇于突破的雄心。很快，他在大陸半導體蝕刻技術領域取得的成績越來越顯赫，受到了中芯國際集成電路制造有限公司的關注。2014年中芯國際向他伸出了橄欖枝。中芯國際是世界領先的集成電路芯片代工企業之一，也是中國內地規模最大、技術最先進的集成電路芯片制造企業，能夠進入中芯國際并擔任北京B1蝕刻工程部資深經理，本身就證明盧俊男的專業技能已經居于全球頂級水平。在中芯國際，盧俊男參與了中芯國際0.18微米到28納米等多項重大技術制程工藝的研發設計和量產制造，為中芯國際的發展做出了許多突出貢獻。

在半導體芯片蝕刻技術方面，盧俊男毫無疑問是行業佼佼者。鑒于他深厚的行業背景和超強的個人能力，受邀參加2018年度世界集成電路大會，為行業發展建言獻策。

堅持初心，方能行遠。盧俊男的確用行動推動著自己所熱愛的行業的發展，用盧俊男自己的話說：“我會一直堅守在芯片蝕刻技術的第一線，力求做出更多的貢獻。只要能發揮我自己的長處，找準自己的目標，做好自己專業的工作就心滿意足了。”盧俊男深情地說。

不難看出，盧俊男的確是一個對半導體芯片蝕刻技術心存赤子之心的人。小小的芯片上承載著他此生最大的熱忱。如今剛過不惑之年的盧俊男，正處于職業生涯黃金時期，相信未來在集成電路領域一定會創造更多屬于他的精彩。