劉電波



摘要:在液晶面板及半導體等制造、加工過程中需要持續監控搬送距離的可優化性,減少搬送距離,節省動力用力;持續監控動態搬送路徑,及時發現路徑設置的不合理之處,優化搬送路徑,提高搬送效率;應對工廠對產品在STK內暫存時間履歷調查的需求。本文介紹了計算產品在工序間搬送距離的一種方法,為工廠提供批次產品搬送數據,方便優化搬送路徑,節省用力。
關鍵詞:OIC;液晶面板;半導體;晶圓
中圖分類號:TP39 ? ? ? ? ?文獻標識碼:A
在液晶面板及半導體等制造、加工過程中,因為從素玻璃或硅片投入到液晶面板或晶圓的做成,這中間需要許多制程的支持,每一道制程有多臺設備分布在不同位置且可能跨區塊需要搬送系統連接,每個工廠規劃搬送路徑不可能唯一。持續搬送距離的監控可優化減少搬送距離,節省動力用力。持續進行動態搬送路徑監控可及時發現路徑設置的不合理之處,優化搬送路徑,提高搬送效率。為了厘清問題根源,工程同時經常會調查產品在STK儲位內一段時間內的履歷,此技術也提供了快速應對方案[1]。
1 本方法提出的背景及提出前統計方法
隨著工廠的持續運營會面臨減能源增效率的問題。目前,搬送距離是由人力統計、計算,目前的情況是4~6人需要耗時1~2天才能完成一批數據,動態路徑監控只能通過人力根據搬送路徑一步步計算確認,如要持續進行計算會額外增加人力及工時,且人為介入數據會存在很大不確定性。
2 本方法的實現方式
為了解決這個問題,我們在不增加成本的情況下對軟件進行新功能開發,讓電腦去完成這些計算,不需新增相關人力,軟件新功能內部開發基本不需成本(圖1)。
(1)統計廠區所有設備,制作Excel版本LAYOUT并統計各單元(含STK、EQ、OHCV、LIFTER等)間的距離。
(2)打開Excel軟件開啟VBA編程功能。按要求收集OIC系統的搬送大命令數據,將收集的數據通過VBA編程分析篩選出有用數據。
(3)打開的Excel軟件根據要求收集MCS小命令搬送路徑,并通過VBA編程篩選出實際搬送站點。
(4)通過Excel軟件的VBA編程功能,根據站點計算出搬送路徑距離同時生成每步動態搬送路徑。這樣大大地節省了人力及工作量。
(5)VBA自動生成產品生產過程搬送距離。
3 ? 本方法的創新點
以前實現功能是手動確認方式,效率低下,費時費力;每次根據OIC搬送路徑計算搬送站點和距離通過7步,特別第6步需重復多次,每步站點都是人力篩選+計算。本方法使用綜合自動數據篩選法,無論是以Source端還是Destination端為主,每次根據OIC路徑計算搬送站點和距離不需人為每步計算,通過整合OIC和MCS系統編寫VBA控制程序可自動實現首末EQ篩選、每步路徑篩選、卡匣篩選、時間篩選、距離計算等,一鍵完成[2-3](圖2)。
目前MCS與MES分屬不同系統,雙方搬送命令記錄到的數據時間點可能會有延時,本系統全程用VBA程序篩選計算不允許有誤差,故如果遇到跨小時、日、天時就會導致雙方時間不匹配,影響查詢,導致匹配時會漏掉數據。針對此現象本方法創新性在VBA編程時使用多路可能路徑查找的方法(圖3)。
以前只能通過MCS layout界面實時監控當前卡匣搬送路徑,處于調查的需要要回溯前期的卡匣路徑(含制程調查基板在STK內存儲位置),只能看Excel里搬送履歷。一條MES下達的命令由許多MCS小命令組成,路徑也有多種可能,很不直觀。非本專業人員看不懂。新路徑回溯實現方法如下。
制作LAYOUT圖,將搬送路徑表現在LAYOUT上,制作上下命令翻動按鈕,直觀可以看到每步驟搬送路徑。
4 ? 預期效果
本方法可以一鍵實現搬送距離計算和動態搬送履歷的回溯,相比較目前路徑計算方式節省大量人力、工時,又因全部是軟件系統計算數據消除不同人為計算的誤差,準確率大為提高。直接將搬送距離的統計計算工作由人工交給軟件來執行,大大提高了計算的效率,降低不同員工間統計數據誤差,使經常性搬送路徑計算成為可能,為用力COST DOWN提供依據,為優化搬送邏輯提供依據[4-6]。
5 ? 結語
當然,實現本方案功能的方法不止一種,相信本方案也不是最優的,只要能節省勞動力,能提高工作效率的方法都是可取的。隨著工廠的持續運營會面臨著減能源增效率的問題,工廠為了可持續健康發展會對技術和效率方面提出越來越高的要求。
參考文獻
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