半導(dǎo)體制備裝置領(lǐng)域聯(lián)合專(zhuān)利分類(lèi)體系（CPC）分析報(bào)告

王真真 詹斯琦

摘要：聯(lián)合專(zhuān)利分類(lèi)體系（CPC）是美國(guó)專(zhuān)利商標(biāo)局和歐洲專(zhuān)利局聯(lián)合推出的一種全球分類(lèi)體系，因其較高的實(shí)時(shí)性和通用性而在全球得到廣泛的應(yīng)用。本文介紹了半導(dǎo)體制備裝置領(lǐng)域的CPC分類(lèi)特點(diǎn)和分類(lèi)思想，并對(duì)該領(lǐng)域的CPC分類(lèi)進(jìn)行梳理和分析；結(jié)合具體案例來(lái)分析CPC分類(lèi)思想。

關(guān)鍵詞：專(zhuān)利；CPC；分類(lèi)；半導(dǎo)體制備裝置

現(xiàn)有專(zhuān)利分類(lèi)體系中，國(guó)際專(zhuān)利分類(lèi)體系IPC被廣泛使用。但是隨著科技的迅速發(fā)展，IPC分類(lèi)更新速度慢，單一分類(lèi)號(hào)下往往專(zhuān)利文獻(xiàn)量巨大，在實(shí)際檢索過(guò)程中難以實(shí)現(xiàn)高效快速地檢索。對(duì)此，美國(guó)專(zhuān)利商標(biāo)局和歐洲專(zhuān)利局聯(lián)合推出了聯(lián)合專(zhuān)利分類(lèi)表（Cooperative Patent Classification，CPC）這一全球分類(lèi)體系。

CPC分類(lèi)體系與IPC結(jié)構(gòu)一致，從而更好地與國(guó)際專(zhuān)利分類(lèi)體系相融合。而且，CPC分類(lèi)更為細(xì)化，且每月都將進(jìn)行適當(dāng)?shù)男抻喓透?，具有較高的實(shí)時(shí)性和通用性。CPC分類(lèi)體系自2013年1月1日正式啟用以來(lái)，目前已有45個(gè)國(guó)家/ 地區(qū)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)機(jī)構(gòu)使用該分類(lèi)體系。

當(dāng)今時(shí)代，半導(dǎo)體相關(guān)電子產(chǎn)品的發(fā)展日新月異，半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展對(duì)于半導(dǎo)體制造設(shè)備的改進(jìn)提出了嚴(yán)峻的考驗(yàn)；半導(dǎo)體制造設(shè)備的種類(lèi)已基本定型，改進(jìn)點(diǎn)更多的涉及性能和技術(shù)細(xì)節(jié)方面。對(duì)于IPC分類(lèi)，半導(dǎo)體制造設(shè)備在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的分類(lèi)大多是在設(shè)備種類(lèi)上進(jìn)行分類(lèi)，分類(lèi)不夠細(xì)致且基本不涉及具體細(xì)節(jié)，不利于該領(lǐng)域的檢索。

1.半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域IPC分類(lèi)與CPC分類(lèi)對(duì)比

半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域在IPC分類(lèi)號(hào)中的一點(diǎn)組分類(lèi)為H01L 21/67；其下有四個(gè)細(xì)分H01L 21/673、H01L 21/677、H01L 21/68、H01L 21/683，分別在支撐部件、傳送部件、定位部件和固定部件四個(gè)方面進(jìn)行分類(lèi)，僅在H01L 21/683下有三點(diǎn)組分類(lèi)H01L 21/687（使用機(jī)械裝置的，例如卡盤(pán)、夾具或夾子）。由此可見(jiàn)，分類(lèi)基本上僅涉及部件種類(lèi)，而沒(méi)有關(guān)于部件的具體結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及性能的分類(lèi)。對(duì)于IPC分類(lèi)，一點(diǎn)組分類(lèi)和每個(gè)二點(diǎn)組分類(lèi)下的文獻(xiàn)量均過(guò)萬(wàn)，一點(diǎn)組分類(lèi)H01L 21/67和二點(diǎn)組分類(lèi)H01L21/68下的文獻(xiàn)量甚至都超過(guò)了6萬(wàn)，而唯一的三點(diǎn)組分類(lèi)H01L21/687下的文獻(xiàn)量也達(dá)到了7千多。在實(shí)際檢索應(yīng)用中，瀏覽文獻(xiàn)噪音大，文獻(xiàn)量多。因此，亟需進(jìn)一步細(xì)分的分類(lèi)體系。

2.半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域CPC分類(lèi)梳理

CPC分類(lèi)號(hào)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域的細(xì)分多達(dá)138條，在減少檢索噪音的同時(shí)，查找分類(lèi)號(hào)時(shí)也增加了一定工作量；同時(shí)，各層級(jí)分類(lèi)堆砌在一起，較難理清各層級(jí)分類(lèi)號(hào)之間的聯(lián)系和區(qū)別，為此，筆者對(duì)該領(lǐng)域的CPC分類(lèi)號(hào)按照層級(jí)關(guān)系進(jìn)行梳理，以更加明確該領(lǐng)域分類(lèi)的分支關(guān)系和技術(shù)聯(lián)系。

CPC對(duì)應(yīng)的H01L 21/67一點(diǎn)組分類(lèi)下，在原有二點(diǎn)組分類(lèi)的基礎(chǔ)上新增加了一個(gè)二點(diǎn)組分類(lèi)H01L21/67005？，這是一個(gè)關(guān)于通用設(shè)備的分類(lèi)，其主要分為制造或處理裝置及監(jiān)測(cè)、分類(lèi)或標(biāo)記用設(shè)備兩部分，對(duì)該二點(diǎn)組分類(lèi)號(hào)下的細(xì)分分類(lèi)進(jìn)行一下梳理，三點(diǎn)組分類(lèi)H01L 21/67011主要針對(duì)制造或處理過(guò)程中對(duì)應(yīng)的各工藝過(guò)程所使用的設(shè)備進(jìn)行分類(lèi)，而H01L 21/67242則是對(duì)各種監(jiān)測(cè)，分類(lèi)或標(biāo)記用設(shè)備進(jìn)行分類(lèi)。

對(duì)二點(diǎn)組分類(lèi)號(hào)H01L21/673下的細(xì)分進(jìn)行梳理；該分類(lèi)號(hào)的含義在對(duì)應(yīng)IPC分類(lèi)號(hào)含義“使用專(zhuān)用載體的”的基礎(chǔ)上，增加了“支撐體，在這些載體或支撐體上固定工件”。其下的三點(diǎn)組對(duì)具體的載體或支撐體類(lèi)型進(jìn)行了詳細(xì)分類(lèi)，并對(duì)其材料、性能、特征等進(jìn)行進(jìn)一步細(xì)分；由于三點(diǎn)組進(jìn)行了較為細(xì)致的分類(lèi)，因此該二點(diǎn)組分類(lèi)號(hào)下只有一個(gè)五點(diǎn)組分類(lèi)。

對(duì)二點(diǎn)組分類(lèi)號(hào)H01L21/677下的細(xì)分進(jìn)行梳理；該分類(lèi)號(hào)的含義為“用于傳送的，例如在不同的工作站之間”，在其下的三點(diǎn)組分類(lèi)中包括在不同的工作站之間的情況、進(jìn)出工藝腔的情況及各種具體操作方式；由于四點(diǎn)組分類(lèi)對(duì)于三點(diǎn)組分類(lèi)分別在結(jié)構(gòu)、功能、手段等方面進(jìn)行了較為細(xì)致的分類(lèi)，因此，在該二點(diǎn)組分類(lèi)下只有一個(gè)五點(diǎn)組分類(lèi)。

二點(diǎn)組分類(lèi)號(hào)H01L21/68下的細(xì)分分類(lèi)梳理；該分類(lèi)號(hào)的含義為“用于定位，定向或?qū)?zhǔn)的”，由于針對(duì)定位、定向、對(duì)準(zhǔn)的方法或?qū)ο笫潜容^明確的，因此其下只有兩個(gè)三點(diǎn)組細(xì)分。

對(duì)二點(diǎn)組分類(lèi)號(hào)H01L21/683下的細(xì)分進(jìn)行梳理；該分類(lèi)號(hào)的含義為“用于支承或夾緊的”，該分類(lèi)號(hào)在原有的三點(diǎn)組細(xì)分H01L 21/687的基礎(chǔ)上，又增加了3個(gè)三點(diǎn)組細(xì)分，在不同的支承或固定方式方面對(duì)其進(jìn)行了更為細(xì)致的分類(lèi)；同時(shí)對(duì)于原有的三點(diǎn)組分類(lèi)H01L 21/687在不同的固定方式及固定物結(jié)構(gòu)等方面進(jìn)了比較精細(xì)的分類(lèi)。

3.檢索實(shí)踐

通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域CPC分類(lèi)號(hào)的梳理，對(duì)于各層級(jí)分類(lèi)之間的技術(shù)聯(lián)系及其分支關(guān)系有了一定了解，下面結(jié)合實(shí)際案例對(duì)于該領(lǐng)域在實(shí)際案例中進(jìn)行CPC分類(lèi)的思路進(jìn)行分析。

權(quán)利要求[1]：

1.一種防靜電熱板結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于平面顯示器光刻膠涂布及顯影機(jī)臺(tái)，其中，所述熱板頂面能放置玻璃基板，并能對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行加熱；在所述熱板內(nèi)安裝有多個(gè)能從所述熱板頂面向上頂起的頂桿，所述熱板頂面上設(shè)置有多個(gè)間隔布置的固定頂針，所述固定頂針在所述熱板頂面支撐所述玻璃基板。

權(quán)利要求分析：該權(quán)利要求主題名稱(chēng)涉及熱板結(jié)構(gòu)，這是一種通用設(shè)備，在二點(diǎn)組分類(lèi)號(hào)H01L21/67005下查找相應(yīng)細(xì)分，可以快速確定對(duì)應(yīng)三點(diǎn)組分類(lèi)為H01L 21/67011（制造或處理裝置），四點(diǎn)組分類(lèi)為H01L 21/67098（進(jìn)行熱處理的設(shè)備），在分類(lèi)表中查找對(duì)應(yīng)五點(diǎn)組細(xì)分，熱板是靠熱傳導(dǎo)或熱對(duì)流方式進(jìn)行加熱的，所以其對(duì)應(yīng)CPC分類(lèi)為H01L 21/67103（主要通過(guò)傳導(dǎo)），H01L 21/67109（主要通過(guò)對(duì)流）。該申請(qǐng)發(fā)明點(diǎn)為“固定頂針”，其主要對(duì)玻璃基板起支承作用；因此在二點(diǎn)組分類(lèi)H01L21/683（用于支承或夾緊的）下查找?？珊芸觳檎业较鄳?yīng)細(xì)分：三點(diǎn)組分類(lèi)：H01L 21/687（使用機(jī)械裝置的）；四點(diǎn)組分類(lèi)：H01L 21/68714（晶片放在基座、臺(tái)階或支撐物上的）；并在以支撐物結(jié)構(gòu)為特征的五點(diǎn)組分類(lèi)中進(jìn)行查找，最終得到與發(fā)明點(diǎn)相關(guān)的準(zhǔn)確細(xì)分H01L 21/6875（以多個(gè)支撐構(gòu)件為特征的，比如支撐柱或突出物）；另外還得到與熱板上的結(jié)構(gòu)頂桿相關(guān)的分類(lèi)號(hào)H01L 21/68742（以起重裝置為特征的，例如升降銷(xiāo)）。

4.結(jié)語(yǔ)

隨著CPC分類(lèi)的進(jìn)一步推廣，尤其是CPC分類(lèi)在中國(guó)專(zhuān)利分類(lèi)中的進(jìn)一步推廣，CPC分類(lèi)逐步變?yōu)閷?zhuān)利應(yīng)用的一項(xiàng)重要工具。這就對(duì)每一位專(zhuān)利相關(guān)工作者提出了更嚴(yán)格的要求，只有熟練掌握CPC分類(lèi)體系才能在專(zhuān)利應(yīng)用比如專(zhuān)利檢索中準(zhǔn)確地利用CPC分類(lèi)號(hào)，快速找到所需的專(zhuān)利文獻(xiàn)。

參考文獻(xiàn)：

[1]黃正義.上海和輝光電有限公司：中國(guó)，201310268206.8[P]，20141231

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