淺談TFT液晶玻璃基板冷端加工Adhered Glass（ADG）缺陷管控辦法

劉東陽 馬 巖 支軍令

（鄭州旭飛光電科技有限公司，鄭州 450016）

隨著國內民族產業的蓬勃發展，由東旭集團和國資委共同投資的鄭州旭飛光電科技有限公司5代TFT-LCD液晶玻璃基板生產線已全面投入生產。在向各大用戶面板廠商提供產品的冷端加工工藝當中，玻璃基板表面的Particle數量和Adhered Glass缺陷嚴重影響了產品最終品質。

1 基板加工存在的問題

國內冷端生產設備基板傳送方式普遍采用牛皮材質齒型帶傳送，玻璃基板在進行精切割時會產生玻璃微粉，飛濺至四周空氣中和皮帶表面，因玻璃粉為透明狀，雖然日常都進行了清掃，仍會有許多肉眼不可視的微粉殘留物，導致玻璃基板傳送時粘附在玻璃表面，形成ADC缺陷，影響產線產品品質，同時給下游用戶造成不良影響。

1.1 精切割使玻璃微粉迸濺

從熱端下架的玻璃基板需要按照切割工序，對玻璃基板四邊進行精切，切割完成后玻璃基板上會表面形成約0.06mm的垂直裂紋，然后基板傳送至掰斷工位進行掰斷，掰斷刀沿著餌料裂紋位置施力。因掰斷時玻璃餌料受力，玻璃微粉會發生濺射。

1.2 玻璃微粉散落在傳送工作臺面上

基板餌料掰斷后玻璃微粉在四周空氣中飄浮，而后飄落在設備和工作臺傳送帶上，產線雖然進行日常清掃、并由工作臺下方清掃毛刷清掃齒型帶，但仍然會有部分玻璃微粉在基板傳送過程中粘附在基板表面。

1.3 玻璃基板傳送過程產生靜電吸附玻璃粉塵

因工作臺齒型帶傳送與設備下方毛刷摩擦產生靜電，導致齒型帶傳送時玻璃粉塵被吸附到工作臺臺面上，因無除靜電裝置，玻璃粉塵聚集后粘附在基板表面。

1.4 日常停機除塵維護作業單一且無統一標準

每月公司根據生產倒排任務給予產線定期停機計劃，產線停機以后組織人員對產線進行清掃。過去設備主體和傳送皮帶僅依靠人員使用無塵布擦拭，且對日常打掃效果沒有綜合評定標準，導致產線經常發生因產線停機打掃造成二次污染的問題。

2 基板加工管控辦法

2.1 玻璃餌料掰斷微粉管控

針對玻璃餌料掰斷時受力迸濺問題，首先可以在掰斷刀側面增加阻擋裝置，當掰斷后玻璃微粉發生飛濺時，有效防止其落到玻璃表面或工作臺上；其次可以將餌料掰斷下落滑槽通道整體進行密閉封裝，并在底部安裝吸塵管路，形成負壓腔體，將掰斷產生的微粉和餌料下落揚塵及時抽走，避免在產線上形成二次污染。

2.2 基板傳送靜電管控

基板在傳送過程中攜帶靜電經過試驗基本可以分為兩種形態：第一種為傳送帶及設備接觸摩擦產生的靜電；第二種是由于現場溫濕度問題造成設備產生靜電無法及時釋放。針對靜電，相關工作人員可以采取以下兩種對策進行處理：第一，在工作臺傳送皮帶下方20mm位置，增加支架并安裝除靜電離子風棒；第二，嚴格對精切機設備掰斷工位溫濕度進行管控，保持常年恒溫恒濕狀態，使設備產生靜電能夠得到有效釋放。

2.3 產線停機針對玻璃粉塵清掃作業管控辦法

對以往產線二次污染原因進行分析，可以得知主要問題還是與打掃方式、順序及后續檢測手段過于粗放有關。針對產線玻璃微粉清除順序問題，要結合各工序生產員工及潔凈管控小組人員意見，制定統一標準化作業流程，避免因操作方法不當引起產線二次污染；另外，對清潔工具順序以及打掃擦拭分區進行了明確區分。另外，還要對打掃質量進行確認，關閉現場照明燈，使用10萬照度鹵素燈檢查機進行探測，同時在開啟設備后，對不同分區使用顆、不同產線環境狀態進行抽測。

3 實際應用效果

經過一系列管控手段，冷端后加工產線基板ADG缺陷及擦劃傷檢出率直線下降，目前公司5代基板冷端加工ADG缺陷已降低至0.1%，不僅提升了產品優良率，同時得到產品用戶進一步認可，市場占有率進一步擴大。新品認證開發也在多個用戶群內順利開展，為公司5代基板進軍高端液晶玻璃基板領域奠定了堅實基礎。

4 結語

基板冷端ADC缺陷是一個較綜合性問題，它不僅受設備自身設計缺陷影響，同時與外圍環境管控方法、產線日常維護作業也有著密切聯系，只有通過更加標準化作業和管控檢測手段才能消除上述問題。另外，通過研究也受到了啟發，要想針對熱切工序ADG進行有效管控，只有不斷拓展產線工藝，才能使設備工藝水平穩定提升。