第一項由我國主導制定的微機電系統（MEMS）國際標準IEC 62047-25：2016正式發布

第一項由我國主導制定的微機電系統（MEMS）國際標準IEC 62047-25：2016正式發布

全國微機電技術標準化技術委員會

2016年8月25日，IEC正式發布了由我國主導制定的第一項微機電系統（MEMS）領域國際標準，標志著我國MEMS領域國際標準化工作實現了零的突破。

1　微機電系統及加工技術

MEMS是指關鍵（部件）特征尺寸在亞微米至亞毫米之間，能獨立完成機電光等功能的系統（GB/ T 26111），也可稱作微電子機械系統、微系統、微機械等。因具有微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產等特點，使得MEMS在民用和軍工方面都顯現出了巨大的應用潛力，已經被廣泛應用在航空航天、信息通信、生物化學、醫療、自動控制、消費電子以及兵器等多個領域，與我們的日常生活息息相關。比如手機中的陀螺儀、噴墨打印機噴頭、汽車安全氣囊傳感器、導彈的慣性器件等等，都離不開MEMS。MEMS的加工技術主要分為硅工藝和非硅工藝兩種，前者在集成電路的基礎上得到飛速發展，已經成為MEMS加工的主流技術。

2　標準制定背景及意義

長期以來，因美國、日本等工業發達國家在集成電路領域形成的深厚積淀，導致MEMS技術和國際標準一直被其把持，已發布的26項MEMS國際標準中，沒有一項由我國制定，我國完全處于跟蹤研究狀態。近年來，國家對MEMS技術的支持力度不斷增加，《“十二五”國家戰略性新興產業發展規劃》《國家集成電路產業發展推進綱要》等國家政策規劃都明確提出要發展MEMS技術，對我國MEMS技術的發展起到了極大促進作用，使得我國在典型工藝、測試方法方面取得多項技術突破，部分技術已經逐漸與世界先進水平形成“并跑”甚至“領跑”。

2012年，全國微機電技術標準化技術委員會（SAC/TC 336）組織北京大學、中國電子科技集團第十三研究所等單位，制定發布了GB/T 28277—2012《硅基MEMS制造技術微鍵合區剪切和拉壓強度檢測方法》，在國內實施取得良好效果。2013年，來自北京大學、中國電子科技集團第十三研究所、中機生產力促進中心等單位專家基于該標準提出了相應的國際標準并成功在IEC/TC 47/SC 47F立項。后期，標委會配合有關單位，組建了一支高水平的技術和標準化專家隊伍，先后7次出席IEC/TC 47/SC 47F國際會議，回復國際意見上百條。經過三年的努力，該標準終于在今年8月正式發布。

IEC 62047-25：2016的發布，在我國MEMS技術和標準化領域具有里程碑式的意義，標志著我國成功探索出了一條參與MEMS領域國際標準化工作的有效路徑，提升了我國在MEMS國際標準化工作中的話語權。

3　標準的主要內容

鍵合是制備MEMS器件芯片微結構的重要技術手段，微結構鍵合強度直接決定器件性能指標。對此，IEC 62047-25∶2016提出了硅基MEMS加工過程中所涉及的微小鍵合區域鍵合強度檢測的相關要求和試驗方法，為采用微電子工藝及相關微細加工工藝技術制造的微小鍵合區的剪切和拉壓強度測試提供了依據。

4　 全國微機電技術標準化技術委員會工作

全國微機電技術標準化技術委員會負責我國MEMS領域國家標準、行業標準制定和歸口管理。標委會匯聚了一大批國內MEMS領域高水平技術和標準化專家，制定和發布MEMS國家標準11項，還有8項正在制定當中。標委會將組織國內專家加緊研究，在制定更多高水平MEMS國家標準的同時，爭取提出更多基于我國自主技術和標準的MEMS國際標準。