提高氫化爐進料溫度的措施

宋張佐，顧國寶，劉陽贊

（昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖 655011）

提高氫化爐進料溫度的措施

宋張佐，顧國寶，劉陽贊

（昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖 655011）

四氯化硅熱氫化是改良西門子法生產多晶硅的關鍵環節，氫化爐的穩定運行是維持系統物料平衡的決定因素。分析了四氯化硅、氫氣的進料狀況對氫化爐運行的影響，并提出了既提高進料的溫度，又節能降耗的措施。

多晶硅；熱氫化；四氯化硅；氫化爐

改良西門子法是多晶硅生產的主流工藝，采用此方法生產的多晶硅占世界總產量的80%左右［1］，該法的特點在于能實現物料的閉路循環［2］。四氯化硅熱氫化是改良西門子法實現閉路循環的關鍵環節，它將還原爐生產多晶硅時產生的副產物四氯化硅，轉化為原料（三氯氫硅）。但氫化反應轉化率較低，四氯化硅轉化率最好也只達20%［3］。氫化轉化率直接關系到多晶硅的生產成本和產量，提高轉化率和氫化爐穩定連續運行時間是多晶硅生產企業實現節能降耗需要攻克的一大難題。本文根據生產經驗，認為，提高氫化爐的進料溫度可一定程度上提升氫化轉化率及氫化爐連續穩定運行時間。

1 熱氫化工藝簡介

四氯化硅熱氫化是將汽化后的四氯化硅與預熱后的氫氣混合，通入氫化爐，并在爐內（1250℃左右）反應生成三氯氫硅和氯化氫。爐內的溫度通過石墨或C－C熱場通電發熱維持，其主反應方程式［4］如下：氫化爐內反應產生的尾氣送至尾氣回收?！?br>