還原爐進料夾液對生產的影響及控制措施

吳世偉，羅 浩

（昆明冶研新材料股份有限公司云南曲靖 655011）

還原爐進料夾液對生產的影響及控制措施

吳世偉，羅 浩

（昆明冶研新材料股份有限公司云南曲靖 655011）

分析了多晶硅還原爐進料夾液產生的原因及其對生產的影響。主輸送管位置高于各還原爐進料管是產生進料夾液的主因，進料夾液易造成還原爐跳停、控制不穩定等故障，可通過降低主輸送管的位置、輸送管設置電伴熱、還原爐進料管配置排液管等措施解決還原爐進料夾液的問題。

多晶硅；還原爐；進料；夾液

多晶硅是太陽能電池片及電子信息產業最基礎的材料，主要采用改良西門子法生產［1］。硅的還原是生產工藝的關鍵環節，即高純的SiHCl3和H2按一定的量比混合，然后進入還原爐，在還原爐內發生化學氣相沉積。主要反應為：

多晶硅沉積載體——硅芯，通過石墨夾頭安裝在還原爐內的電極上，電極與還原爐基盤之間通過絕緣密封材料進行絕緣保護。還原爐內溫度較高，絕緣材料要緊緊貼近基盤底面（通過基盤冷卻水冷卻保護），否則，在高溫條件下容易產生變形，因此，絕緣材料的厚度要求較薄。在生產過程中，如果絕緣阻值低于生產要求的最低安全值，就會導致電氣設備跳停。

多晶硅的生產原料SiHCl3和H2主要通過調節閥對其流量和配比進行調節控制［2］，并要求進入還原爐的SiHCl3必須是氣態的。如果發生Si-HCl3氣液混合進料現象，且進料量較小時，就會使流量計測量值波動，從而造成進料量的波動，導致多晶硅沉積的不穩定。……