從量塊比較儀單、雙測頭的異同看其校準規范

劉香斌 吳月艷 張旭東

(中國計量科學研究院，北京 100013 )

0 引言

長期以來，我國量塊比較測量使用的儀器主要是接觸式干涉儀和光學計。20世紀90年代以來，很多計量機構開始使用電感式量塊比較儀，其示值誤差在±0.03μm左右。其檢定或校準大多參考接觸式干涉儀檢定規程。近年來進口的量塊比較儀越來越多，其所標注的技術指標比較混亂，缺乏相關的法規文件來規范。2011年國家質檢總局頒布并實施了JJF 1304—2011量塊比較儀校準規范。經過1年多的實施，發現在規范的使用中存在一些問題和疑問。多數問題的焦點在于規范中涉及的雙測頭量塊比較儀與傳統的單測頭量塊比較儀的區別。因此，本文將主要介紹一下單、雙測頭量塊比較儀在使用和校準方面的異同，同時對新校準規范的一些問題進行說明。

1 量塊比較儀的簡介

量塊比較儀是檢定量塊的主要計量儀器，它是采用比較方法測量量塊長度的計量儀器。該儀器使用范圍廣泛，使用量極大。量塊比較儀有很多種類和型號，其中，各種光學計、測長儀、接觸式干涉儀等早已為大家所熟知和使用，測長機用于比較測量大尺寸量塊，也可以認為是量塊比較儀，但是，由于JJF 1304—2011量塊比較儀校準規范中將量塊比較儀限定在垂直方式比較測量量塊的儀器，因此，我們在討論量塊比較儀時不把測長機考慮在內。電感、光柵傳感器類型的量塊比較儀在近年來越來越廣泛的用于量塊比較測量上，成為了量塊比較儀的主流。……