韓國半導體設備業發展策略研究

杜漸

(上海圖書館科技情報研究所，上海 200031)

設備業是半導體產業發展的基礎和支撐，在半導體產業發達的國家均把設備業作為重要的戰略產業積極加以扶持。從20世紀80年代末開始，韓國就一直在努力打造本國的半導體設備產業，借助于政府、大型半導體企業的大力支持，韓國半導體設備逐漸取得質的飛躍。盡管目前韓國國內半導體設備業總體規模還不大，多數設備產品銷售還是主要依賴國內市場，但在一些設備領域韓國企業技術水平已經接近國際領先水平，如PSK的光阻去除設備，可以最大產出率達到440片/min，接近Novellus和Mattson設備性能。本文希望通過韓國半導體設備也發展策略，對國內的設備產業發展提供有益借鑒。

1 發揮產業集團的作用，積極推動半導體生產企業設備采購本地化

韓國是2010年全球半導體設備的第四大市場，其設備市場規模約占全球半導體設備市場的17%。2011年，韓國最大兩家集成電路制造企業三星電子和海力士的設備投資預算分別為96億美元、30億美元，排在全球第一和第四位。韓國的半導體設備與制造企業之間有著很深的淵源，有相當數量的設備企業早年是從韓國國內半導體企業或其企業集團中分離出來的（如：韓國領先的OLED設備企業SFA是由三星宇航工業旗下的自動化部門分拆出的），并且雙方在技術研發等方面有著長期、密切的聯系。近年來，三星電子、海力士為了降低設備、零部件及材料等的對外依存度，獲得穩定的后備供應來源（Second Source），均在強化設備采購本地化戰略，通過股權投資、合作開發或產品采購等多種方式支持、培育國內設備企業發展。例如：2011年三星電子投資了韓國CVD、ALD設備生產企業Wonik IPS相當于公司9.4%股份的可轉化公司債券；三星電子、海力士與國內設備企業均存在長期合作的關系，有共同實施的合作開發項目，并且按照三星電子、海力士的采購政策，韓國本土設備生產廠商只要取得驗證報告，即可獲得量產訂單。

2 積極參與國際研發合作

韓國半導體產業是以“技術引進”為起點逐漸發展起來的，歷來重視參與國際研發合作。2007年，韓國與美國達成了一項半導體合作研發的協議，合作協議涵蓋半導體設計、制程、設備材料等三個領域，其中半導體設計的美方合作伙伴為加州大學伯克利分校，制程的合作伙伴為斯坦福大學，設備材料的合作伙伴為德克薩斯州大學達拉斯分校，項目將分兩階段進行，第一階段（2007-2008年）雙方在硅谷及得克薩斯建立研發基地，第二階段（2009-2011年）雙方探索建立戰略性合作伙伴關系。同時，韓國政府將為合作提供相應的匹配資金，并協調國際、國內的相關研發活動。此外，近兩年得益于技術上的進步，國際半導體設備研發合作、標準制定組織也開始吸收韓國的設備企業參與，如：Eugene Tech作為設備供應商被吸收進SEMATECH的“internation Sematech Manufacturing Initiative”（ISMI）450mm 生產線設備研發、標準制定項目。

2011年，韓美自由貿易協議被美國參眾兩院批準通過，正式生效。由于美、韓兩國在半導體領域的技術存在一定互補性，美國半導體基礎技術領先，韓國則擅長應用相關技術的開發，未來兩者的合作將進一步增強。見圖1。

圖1 美國、韓國合作研發的半導體技術

3 政府規劃支持半導體設備業發展

韓國知識經濟部2009年底，宣布聯合三星電子、海力士等兩家半導體企業注資584億韓元（5050萬美元），發展本土半導體設備產業，重點推進低溫化學氣相沉積（LPCVD）、蝕刻設備、銅制程化學機械研磨設備（Cu CMP）、關鍵點測量設備（CD-SEM）、離子摻雜設備等7個商業化項目，爭取2013年形成2500億韓元的銷售收入。見表1。

表1 韓國知識經濟部宣布支持三星電子和Hynix核心半導體設備的開發