約翰內斯·海德漢博士（中國）有限公司

藉著中國大陸半導體和平板顯示市場近幾年的繁榮之勢，海德漢積極投身開拓中國電子設備制造和FPD市場。2012年3月20-22日，在上海新國際博覽中心E1館1213展位，海德漢將帶著旗下針對半導體與平板顯示生產設備行業的最新產品及先進技術亮相SEMICON/FPD China 2012。

在高產量加工過程中能保持持續的高質量和高精度是高效生產的關鍵。為此，海德漢提供大量具有高質量信號輸出的直線光柵尺和角度編碼器的選擇，確保定位精度準確。得益于它們面向實際應用的機械結構,實用性的高精度和可定義的溫度特性,使海德漢光柵尺或和角度編碼器能確保滿足不同測量任務和安裝條件要求。

SEMIECON/FPD 2012 E1館1213展位

敞開式增量直線光柵尺 LIF 400

精度高和安裝簡單

應用

●半導體后端生產設備

●計量儀器特點

●緊湊型讀數頭和光柵尺

●PRECIMET背膠固定，安裝簡單

●抗污染能力較強

●限位開關和回零軌技術參數

●玻璃基體或Zerodur玻璃陶瓷基體的SUPRADUR相位光柵

●信號周期 4μm

●精度等級 ± 3μm

●典型位置誤差

單信號周期內 ±0.04μm

●測量長度 至1020mm

●接口 1VPP或TTL

敞開式增量直線光柵尺 LIDA 400

用于高速運動和大測量范圍

應用

●半導體工業生產和檢測設備

●PCB電路板組裝機

●測量機特點

●運動速度快

●測量長度大

●安裝公差大

●限位開關

●多種型號可供選擇技術參數

●鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷基體的METALLUR光柵

●信號周期 20μm

●測量步距 至0.05μm

●精度等級 至±5μm

●典型位置誤差

單信號周期內± 0.2μm

●測量長度 至30m

●接口 1VPP或TTL

無內置軸承增量式角度編碼器

玻璃圓光柵碼盤/輪轂總成

應用

●計量儀器

●高速旋轉軸特點

●尺寸緊湊

●高精度

●信號誤差補償技術參數

●玻璃基體的METALLUR光柵尺

●信號周期數 9000/18000

●系統精度 ±5/±3角秒

●直徑 外徑 71/150mm

內徑 25/95mm

●接口 1VPP或TT

系統安全要求日益提高，網絡滲透日趨深入，因此新機器和新系統的要求也更加嚴格。

海德漢公司帶有絕對位置信號輸出的光柵尺和編碼器在提高生產和加工過程的效率和可靠性方面發揮著重大作用，幫助用戶在保持質量穩定的同時提高產量。高分辨率的特點使這些編碼器能準確控制速度，因此能提高速度穩定性和提高定位特性。

敞開式絕對直線光柵尺 LIC 4000

精度高和測量范圍大

應用

●半導體工業的測量和生產設備

●PCB電路板組裝機

●測量機

●直接驅動特點

●大測量范圍的絕對位置值

●高分辨率

●結構緊湊

●安裝和診斷簡單技術參數

●有絕對刻軌的METALLUR鋼帶

●分辨率 最小至 0.001μm（1nm）

●精度等級 達±5μm

●典型位置誤差

單信號周期內 ±0.08μm

●測量長度 至27m

●運動速度 至8m/s

●接口 EnDat 2.2

絕對式模塊旋轉編碼器 ECN 1123/EQN 1135

單圈/多圈版

應用

●伺服電機反饋系統

●機械手應用

●一般自動化系統特點

●結構緊湊

●安裝簡單

●功能安全技術參數

●單圈測量步距數 8388608(23bits)

●分辨率（EQN 1135）4096(12bits)

●系統精度 ±60''

●接口 EnDat 2.28MHz時鐘頻率

●安全等級 SIL 2，EN 615083級 PL d，EN ISO 13849-1:2008

●供電電壓 DC 3.6至14V