紅外線吸收式氣體分析計

紅外線吸收式氣體分析計

公開號：CN102401787A 公開日：2012.04.04

申請人：株式會社島津制作所

將紅外線吸收式氣體分析計使用于SO2的檢測目的時，檢測器的室內的SO2和流量傳感器的元件的Ni反應，產生流量傳感器元件斷線的問題。本發明的目的在于提供一種防止流量傳感器的Ni元件的腐蝕，延長流量傳感器的耐用期間的紅外線吸收式氣體分析計。推定出在Ni元件的正常部側面僅表面附著有NiSO4，在腐蝕部NiS2生成到其深部。因此，Ni被SO2硫化而生成NiS2時，Ni被腐蝕到深部而造成斷線，但即使Ni與SO2反應，如果作為NiSO4僅停留在表面而不發展到深部的話，就不會產生斷線的問題。又，可知Ni在100℃以下作為NiSO4存在，在100℃以上則生成NiS2。因此，通過將流量傳感器的電阻金屬箔23、24的溫度設定在100℃以下，可以防止NiS2的生成。