尚 超 余岳輝 吳擁軍 馮仁偉 李偉邦
(1.華中科技大學電子科學與技術系 武漢 430074 2.湖北臺基半導體有限公司 襄樊 441021)
脈沖功率技術產生于20世紀30年代,60年代之后得到快速發展。其最初來自軍事方面的應用,如電磁炮、飛機彈射、核聚變激發等;冷戰后,研究人員將其應用到工業上,如大功率能量發生器、微波、生物醫療及環保等領域[1-6]。隨著脈沖功率技術的廣泛應用,對其核心元件之一的開關提出了越來越高的要求。半導體器件能克服傳統氣體開關壽命短、不穩定等缺陷,故目前脈沖功率開關有半導體化的趨勢[7]。開關元件的參數和特性對脈沖的上升時間、幅值、關斷時間等產生最直接的影響,理想的脈沖功率開關要求同時兼備高電壓、大電流、低損耗、長壽命等特點。
大功率超高速半導體開關RSD是20世紀80年代末,由俄羅斯科學院阿·法約物理技術研究所的I.V.Grekhov等人基于可控等離子層換流原理提出的一種新型脈沖功率開關[8-9]。基于特殊的結構和工作原理,RSD能實現在芯片全面積均勻同步開通,殘余電壓在前沿只有很小的陡升,準穩態出現在幾個微秒內(對普通晶閘管這一過程約為上百微秒)。
高壓RSD的應用在很大程度上依賴于其觸發開關的設計。傳統的觸發開關是半導體開關堆體,其串聯技術及觸發系統異常復雜。本文提出一種利用脈沖變壓器隔離高壓的RSD直接式觸發。該方案的觸發開關可以是單只功率半導體開關,從而降低了系統對觸發開關的要求,理論分析和實驗結果表明該方案是可行的。
圖1為RSD基本結構及工作原理示意圖。它是一種包含數萬相間排列的晶閘管和晶體管單元的二端器件圖。所有單元的集電極共有,它阻斷著圖示的外加正向電壓,此外共有的還有陰極側的n+p發射極。當施一脈寬約2μs、一定幅值的反向電流后,RSD可以微秒甚至納秒級的速度開通數十至數百千安的大電流,磁開關隔離主回路和預充回路。

圖1 RSD基本結構及工作原理示意圖Fig.1 Basic structure and schematic circuit of RSD
用預充電荷描述的RSD正常開通的條件為

式中,Qcr為器件開通所需的預充電荷量;dJ/dt為主電流密度上升率。
圖1中的開關S閉合,預充電壓φ2反向施加到RSD上,此時的主電壓被未飽和的磁開關隔離,晶體管的n+p低壓結被擊穿,在器件n基區內形成一等離子層。磁開關飽和后,主電壓φ1加在RSD上,器件體內的等離子層發生再分布,進行電導調節,在n基區內J2結附近形成一個可源源不斷提供等離子體的等離子庫,RSD實現全面積均勻導通。RSD的直接式觸發,電路簡單,所需器件少,且觸發效果好。但從圖1的工作原理圖來看,觸發開關S閉合前承載著主電壓和預充電壓之和,工作環境非常惡劣。故RSD的推廣應用對觸發開關提出了較高的要求。本文就是基于此,研究利用脈沖變壓器隔離高壓的RSD直接式觸發。
圖2為基于脈沖變壓器的RSD直接式觸發原理圖。Tr為可飽和的脈沖變壓器,L0為磁開關,C1為主放電電容,C2為隔離電容,C0為預充電容,RSD為主放電開關,Z為阻性負載。C1-L0―RSD-Z構成主放電回路;Tr二次側-RSD-C2構成RSD的預充回路;C0-Tr一次側-V構成低壓觸發回路。該電路要求磁開關飽和前,觸發回路通過變壓器給RSD提供足夠的預充電荷,以保證其正常開通。工作原理:工作前Tr一次側復位,C1、C2及C0充電至一定電壓。觸發晶閘管V導通,變壓器磁心飽和前,C0通過Tr一次側放電,同時在Tr二次側感應一電壓ΔU,此值高于C2充電電壓,此電壓差產生C2的充電電流,該電流反向流過RSD,對RSD進行預充。經過Δt1的時間延遲,預充結束,磁開關L0飽和,主電容C1通過RSD對負載放電,形成電流脈沖;再經過Δt2的時間延遲,Tr磁心飽和,電容C2通過C2-RSD-Tr二次側回路放電,以泄放其上的電荷。

圖2 基于脈沖變壓器的RSD直接式預充電路原理圖Fig.2 Direct precharge structure of RSD based on pulse transformer
該方案中脈沖變壓器的作用有三個:一是隔離主回路的高壓,降低觸發開關上的初始電壓;二是給RSD提供足夠的預充電荷,保證其正常開通;三是經過一定的時間延遲后飽和,為電容C2提供放電回路。
利用脈沖變壓器等效電路,圖2電路可簡化如圖3所示。圖3中,R1、L1分別為變壓器二次繞組的等效電阻、漏感;R2、L2分別為變壓器一次繞組的等效電阻、漏感;Lt為磁心耦合磁化電感,理想情況下為無窮大;Rr為等效磁心損耗電阻。

圖3 利用變壓器等效電路簡化后的電路原理圖Fig.3 Simplified circuit used equivalent circuit of transformer
對脈沖變壓器的精確計算是比較困難的。通常的做法是利用圖3的等效電路,先設定一些待求參數,利用相關軟件對這些參數進行仿真,對其中較滿意的參數輔以實驗驗證,同時通過實驗結果對電路參數進行修正,直到得到滿意的電路參數。經多次仿真、實驗,并結合實驗室條件,確定電路參數為:變壓器電壓比為3∶21,磁心材料為鐵基納米晶;C1=10μF;C2=0.2μF;C0=0.5μF;R1=0.5Ω;L1=3μH;R2=0.4Ω;L2=8μH;Z=0.24Ω。
變壓器磁心經一定的時間延遲后必須飽和,為電容C2上的電荷提供泄放回路。利用仿真軟件Saber對其飽和特性進行仿真,仿真結果示于圖4。電流曲線顯示,變壓器一次電流I先有較小幅度的上升,隨后出現一個較大的上升電流脈沖;同時一次電壓U出現較大的下降坡度,這些現象說明變壓器在此時飽和。在放電電壓為350V下對其進行了實驗驗證,波形示于圖5。U1對應變壓器一次電壓,I1對應一次電流。電流波形顯示,在350V電壓下,得到峰值為305A的電流。但此電流并不是立刻產生,而是經過約10μs的時間延遲后產生,這是因為變壓器在10μs內未飽和,保持高感抗,只流過很小的漏電流;10μs后變壓器飽和,流過大電流。說明變壓器飽和特性良好,電壓波形上有同樣的反映。實驗結果與仿真能夠吻合。

圖4 變壓器一次電流和電壓仿真波形Fig.4 Simulation waveforms of current and voltage on primary side of pulse transformer

圖5 變壓器一次電流和電壓波形Fig.5 Waveforms of current and voltage of RSD
利用上面的電路參數,對方案進行試驗驗證。初始條件:UC1=10kV,UC2=10kV,UC0=4kV。RSD直徑為24mm,單片耐壓2.2kV,5片串組成堆體;觸發開關為兩只晶閘管串,單只耐壓為2.2kV(或一只耐壓為5kV的高壓晶閘管);電流測量采用比例為620A/V的管式分流器,示波器為泰克公司生產,型號為TDS2012,帶寬100MHz。
圖6和圖7為實驗波形。圖6為RSD預充電流波形,圖7為主回路電流波形。圖6的波形顯示,預充電流幅值為80A,脈寬為2.4μs;圖7的波形顯示,主電流峰值為12kA,脈寬為15μs,di/dt為2kA/μs。兩波形平滑、均勻。
由此,根據式(1)計算觸發該RSD所需的臨界預充電荷量Qcr=18μC/cm2,而由觸發回路經變壓器實際提供給RSD的預充電荷量Q=72.2μC/cm2,可見該方案能夠滿足RSD的觸發要求。

圖6 RSD預充電流波形Fig.6 Waveforms Precharge current of RSD

圖7 主回路電流波形Fig.7 Waveforms Current of main circuit
圖6 預充電流波形的毛刺是觸發引起的干擾所致。圖7所示電流波形中的預充部分不是很清楚,是為測量主電流,示波器量程打得較大,故相對較小的預充電流不是很明顯。主電流波形出現振蕩,是因為主電路設計為欠阻尼狀態。試驗結束后,經測量電容C2上僅有很小的殘余電壓,相對10kV的初始電壓,可以認為C2上的電荷已通過飽和的變壓器泄放完畢。
針對RSD應用中的觸發問題,本文通過仿真和試驗研究了利用脈沖變壓器隔離高壓的RSD直接式觸發。理論分析和實驗結果都表明:利用脈沖變壓器隔離高壓的方法降低了RSD觸發開關上的初始電壓,從而降低了對觸發開關的要求,該方案較容易實現高壓RSD的觸發;提供充足的預充電荷是RSD正常開通的外部條件,該方案能為器件提供充足的預充電荷,從而保證了其正常開通。變壓器是該觸發方案的關鍵,一方面提升一次電壓,實現對RSD的預充;另一方面在飽和后給電容C2上的電荷提供泄放回路,仿真及試驗結果說明所設計變壓器具有很好的飽和特性。利用本文的電路拓撲及相應的實驗參數,在10kV主開通電壓下,得到了幅值為12kA、底寬為15μs、di/dt為2kA/μs的主電流。試驗完畢,經測試堆體中各管芯特性基本無退化,證明了本方案的可行性。同時本研究也為更高電壓等級RSD的觸發提供了思路。
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