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基于微機電子系統技術高性能氣相色譜柱的制備

2010-04-12 00:00:00孫建海崔大付蔡浩原寧占武張艷妮張璐璐任艷飛
分析化學 2010年2期

摘 要 基于微機電系統(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技術,制作了微型氣相色譜柱,并對其性能進行了研究。與傳統色譜柱相比,此微型色譜柱具有體積小,分析速度快等特點,適用于在線檢測分析與監測。本研究利用深刻蝕技術與動態涂覆固定相的方法,設計制作了0.5, 1.0及3.0 m色譜柱,實現了對苯,甲苯和鄰二甲苯的分離。其中,3.0 m色譜柱對甲苯和鄰二甲苯的分離度達14.3,理論板塔數達6160,分離時間少于200 s。考察了柱長對色譜柱分離性能的影響。此微型色譜柱可廣泛應用于家居安全,瓦斯監測以及環境檢測等領域。

關鍵詞 微型色譜柱;分離度;理論板塔數;微機電系統

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