任慧志
摘要:在相同氫稀釋硅烷濃度和相同的其它沉積參數情況下,在電池和玻璃上本征材料晶化程度不同,微結構有差別。硅烷濃度SC=8%~2%區間采用提高氫稀釋硅烷濃度的方法沉積非晶硅,可使材料的有序度提高。本征層材料硅烷濃度SC=6%的電池在沉積時隨著襯底溫度的增高,電池的開路電壓逐漸減小;電池的填充因子隨著本征層壓力的增大也呈現上升趨勢,開路電壓隨著沉積壓力的增大又逐漸降低。
關鍵詞:非晶硅電池;溫度;功率
總裁2008年8期
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