Ｐｏｌｙｍｅｒ／Ｓ重ＡＷＧ器件材料光學性質的準確測量
2005-04-29 00:00:00姜文海侯小柯崔占臣張大明
吉林大學學報(理學版) 2005年2期
摘要：使用WVASE32型橢偏儀，對Si基單層有機薄膜的測量方法進行分析；并對聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料進行測量，根據測量結果對陣列波導光柵(AWC)器件進行設計．在124nm到1 700nm之間可測量出任意波長的折射率，其均方差(MSE)均遠小于1，證明測量結果極其準確．同時探討了對多層有機薄膜及氟化聚合物薄膜的測量方法．
關鍵詞：列陣波導光柵；聚合物；光學系數；橢偏儀
中圖分類號：O436
文獻標識碼：A
文章編號：1671-5489(2005)024-0185-05
