Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子的金剛石砂帶超精加工試驗(yàn)

關(guān)鍵詞 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子；金剛石砂帶；表面粗糙度；超精密加工

中圖分類號(hào) TG74;TG58;TQ164;TH161.1 文獻(xiàn)標(biāo)志碼A

文章編號(hào) 1006-852X（2025）04-0496-08

DOI碼 10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0106

收稿日期 2024-07-05修回日期2024-08-15 文i

隨著重大技術(shù)裝備的不斷進(jìn)步與發(fā)展，軸承的服役條件日益苛刻。傳統(tǒng)鋼制滾動(dòng)體在面對(duì)超高速、易腐蝕、高低溫、干摩擦、易污染等極端工況時(shí)，已無法滿足正常的使用要求[-2]。大量試驗(yàn)表明， 60%～70% 的軸承失效是由其滾動(dòng)體產(chǎn)生的疲勞破壞所致[。相比之下，陶瓷滾動(dòng)體具有耐腐蝕、絕緣、抗電磁、自潤滑、耐高低溫等顯著優(yōu)點(diǎn)，非常適用于惡劣及特殊的工況[4。然而，由于陶瓷材料的硬脆特性，其滾動(dòng)體加工后的表面質(zhì)量難以得到有效保證[7-8]。

超精加工是陶瓷圓柱滾子的最后一道加工工序直接影響軸承的質(zhì)量及服役性能。目前，陶瓷圓柱滾子的超精加工普遍仿照鋼制圓柱滾子的超精加工方法（如無心磨超精加工、雙平面研磨[10-13]等），加工工具有砂輪、研磨盤等。使用上述方法和工具加工鋼制圓柱滾子時(shí)可獲得較高的表面質(zhì)量和材料去除率，但Si₃N₄ 陶瓷的硬度僅次于金剛石，采用上述方法對(duì)其加工，研磨工具的損耗量遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于鋼制圓柱滾子加工時(shí)的損耗量，因而生產(chǎn)成本大幅增加，嚴(yán)重限制了 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子的大規(guī)模應(yīng)用。因此，開發(fā)適合陶瓷圓柱滾子的超精加工方法十分重要。

砂帶加工作為磨削加工方式的一種，具有柔性好、冷態(tài)加工、無需修整、磨削質(zhì)量高、經(jīng)濟(jì)效益佳且生產(chǎn)成本低等優(yōu)點(diǎn)[14-16]。超硬材料砂帶可加工硬質(zhì)合金、硬脆材料等難加工材料[17-18]，國內(nèi)外學(xué)者對(duì)此已進(jìn)行了大量研究。張疊等[采用砂帶對(duì) ZrO₂ 工程陶瓷進(jìn)行磨削試驗(yàn)，分析了不同工藝參數(shù)對(duì)其加工效率和表面質(zhì)量的影響；高超等[2]采用電鍍金剛石砂帶對(duì) Al₂O₃ 陶瓷進(jìn)行磨削試驗(yàn)，總結(jié)了不同工藝參數(shù)對(duì)工件磨削效率和表面粗糙度的影響規(guī)律;LI等[21采用金剛石砂帶磨削航空發(fā)動(dòng)機(jī)Ni基合金葉片，通過試驗(yàn)研究了不同固結(jié)形式金剛石砂帶的磨損情況;ZHOU等[22]采用金剛石砂帶磨削SiC/Al復(fù)合材料，總結(jié)了不同磨削參數(shù)的影響規(guī)律并得到了最佳磨削工藝參數(shù)組合；GONG等[23]采用砂帶磨削SiC材料，通過多次磨削試驗(yàn)獲得了最佳磨削參數(shù)，使加工效率提升了 90% ;STADNIK等[24分析了砂帶張緊程度對(duì)工件表面粗糙度和材料去除率的影響；SYREYSHCHIKOVA等[25]采用砂帶磨削Ni基合金，從表面粗糙度、材料去除率、砂帶磨損等方面分析了砂帶的加工性能；ZHAO等[2采用砂帶拋光多晶鋁酸鎂尖晶石，討論了不同工藝參數(shù)對(duì)尖晶石表面質(zhì)量的影響。

綜上所述，砂帶在難加工材料加工方面展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力，但關(guān)于砂帶應(yīng)用于軸承圓柱滾子加工的報(bào)道較少。因此，提出用金剛石砂帶超精加工 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子工件的方法，通過搭建金剛石砂帶超精加工試驗(yàn)平臺(tái)，研究不同工藝參數(shù)對(duì)工件表面質(zhì)量的影響，并對(duì)加工后工件的表面形貌進(jìn)行分析。

1金剛石砂帶超精加工試驗(yàn)裝置與原理

砂帶加工是一種通過砂帶在橡膠接觸輪給定壓力的作用下與工件表面相互作用產(chǎn)生切削運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)材料去除的加工方式，常用于工件表面的磨削和拋光[]。根據(jù)砂帶加工及 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子工件的特點(diǎn)，提出金剛石砂帶超精加工方法，其加工原理如圖1所示，搭建的試驗(yàn)平臺(tái)如圖2所示。金剛石砂帶超精加工的加工原理為： Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子工件位于兩導(dǎo)輥之間，電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)導(dǎo)輥帶動(dòng)工件旋轉(zhuǎn)，同時(shí)氣缸推動(dòng)橡膠接觸輪施加一定壓力于金剛石砂帶，使其與Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子接觸以實(shí)現(xiàn)超精加工。在超精加工過程中，前顆磨粒在工件表面刻劃使其產(chǎn)生塑性變形和切削溝痕，其邊緣又被后續(xù)磨粒繼續(xù)滑擦、耕犁和切削，進(jìn)而加工出連續(xù)、高質(zhì)量的表面[28]。砂帶中金剛石磨粒間的分布空隙較大，與空氣接觸時(shí)間較長，磨削溫度較低，不易對(duì)工件表面造成燒傷。此外，橡膠接觸輪的彈性使圖2的加工平臺(tái)對(duì)振動(dòng)響應(yīng)不敏感，可確保超精加工穩(wěn)定，從而使工件獲得優(yōu)異的加工精度和表面質(zhì)量。

圖1金剛石砂帶超精加工原理

Fig.1Principle of diamond abrasive belt superfinishing

圖2金剛石砂帶超精加工試驗(yàn)平臺(tái)Fig.2Diamondabrasivebelt superfinishingtestplatform

2試驗(yàn)方案及條件

2.1試驗(yàn)方案

為研究不同工藝參數(shù)對(duì)金剛石砂帶超精加工 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子質(zhì)量的影響并簡化試驗(yàn)，采用正交試驗(yàn)法進(jìn)行試驗(yàn)。通過正交試驗(yàn)的均值分析（即計(jì)算各因素水平下試驗(yàn)指標(biāo)的平均值），觀察各因素在不同水平下的均值變化，以折線圖的形式呈現(xiàn)金剛石砂帶磨料粒度（用粒度代號(hào)表示）、砂帶線速度、砂帶壓力、導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速對(duì)工件表面粗糙度 R_a 和材料去除率 R_MRR 的影響規(guī)律，并通過方差分析研究不同工藝參數(shù)對(duì)超精加工結(jié)果的影響程度。正交試驗(yàn)的因素及水平如表1所示。

表1金剛石砂帶磨削的參數(shù)及水平

Tab.1Parameters and levels of diamond sand belt grinding

2.2試驗(yàn)條件及方法

試驗(yàn)選用的 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子尺寸為 ?10mm× 12mm ，其性能參數(shù)如表2所示。試驗(yàn)前，首先采用無心磨進(jìn)行精加工，使工件表面粗糙度達(dá)到（ 0.30±0.02）μm; 然后采用金剛石磨料粒度代號(hào)為P800的樹脂金剛石砂帶進(jìn)行預(yù)處理，以去除上一道工序留下的磨削痕跡。預(yù)處理及超精加工試驗(yàn)所采用的樹脂金剛石砂帶均為瑞士KGS公司生產(chǎn)的樹脂金剛石砂帶，其型號(hào)為KGSflexis，尺寸規(guī)格為 1500mm×50mm 。工件超精加工后，采用泰勒接觸式Surtron-ic25型粗糙度儀測量其表面粗糙度；使用精度為 _0.001g 的雙杰JJ124BC型分析天平測量超精加工前后工件的質(zhì)量變化，計(jì)算其材料去除率；利用基恩士VHX-1000型超景深三維顯微鏡和RTECLAMBAD型白光干涉儀對(duì)加工后工件的表面形貌進(jìn)行觀察。

表2 Si₃N₄"陶瓷材料性能參數(shù)Tab.2Performanceparametersof Si₃N₄ ceramicmaterial

采用表1參數(shù)加工 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子，加工時(shí)的冷卻液為水，加工時(shí)間為 30s 。加工后工件表面粗糙度 R_a 的測量方法是：在每個(gè)試驗(yàn)因素下加工3個(gè) Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子，每個(gè)滾子測量3個(gè)不同位置的表面粗糙度值，最后取9個(gè)值的平均值為最終結(jié)果。

工件材料去除率 R_MRR 測量方法是：每次加工3個(gè)工件，記錄3個(gè)工件超精加工前后的質(zhì)量變化，再按式（1）[13]分別計(jì)算材料去除率，最后取3個(gè)工件的材料去除率平均值為最終結(jié)果。

式中： R_MRR 為材料去除率， μm/min . V 為工件體積，mm³ ： Δm 為工件超精加工前后的質(zhì)量差， g;S 為圓柱滾子的圓柱面面積， mm² . m₀ 為工件的初始質(zhì)量，g;t 為超精加工時(shí)間， min 。

3試驗(yàn)結(jié)果及分析

3.1試驗(yàn)結(jié)果

正交試驗(yàn)結(jié)果見表3。其中，砂帶磨料粒度使用磨料粒度代號(hào)表示，其根據(jù)磨粒長軸方向的直徑微米尺寸大小排序，由單位長度的篩孔數(shù)決定。篩孔數(shù)與粒度成正比，即篩孔數(shù)越多，粒度代號(hào)越大，磨粒尺寸越小，相應(yīng)的磨料越細(xì)。由表3可知：當(dāng)金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)為P3000、砂帶線速度為 10m/s 、砂帶壓力為94N， 導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速為 300r/min 時(shí)，工件表面粗糙度最小值為 0.0452μm ；當(dāng)金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)為P2000、砂帶線速度為 20m/s 、砂帶壓力為 94N. 、導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速為200r/min 時(shí)，材料去除率最大值為 1.07531μm/min 。

表3正交試驗(yàn)結(jié)果

Tab.3Resultsof orthogonal experiments

圖3為方差分析結(jié)果。由圖3a可知：對(duì)于表面粗糙度，金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)的影響最大，其占比為 60.12% ；其次是砂帶壓力，其占比為 18.01% ；砂帶線速度和導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的影響相對(duì)較小，其占比分別為13.71% 和 8.16% 。由圖3b可知：對(duì)于材料去除率，金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)的影響最大，其占比為 39.97% ；砂帶線速度的影響次之，其占比為 29.09% ；砂帶壓力和導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的影響較小，其占比分別為 18.10% 和 12.24% 。

綜上所述，金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)對(duì) Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子表面粗糙度和材料去除率的影響均最大。主要原因是金剛石磨料粒度代號(hào)直接決定了磨粒在工件表面產(chǎn)生的劃痕深度，當(dāng)磨料粒度代號(hào)較小（磨粒尺寸較大）時(shí)，較大的磨粒在加工時(shí)容易留下較深的劃痕，從而增加表面粗糙度和材料去除率；相反，磨料粒度代號(hào)較大（磨粒尺寸較小）的磨粒能夠產(chǎn)生更細(xì)微的劃痕，有助于降低表面粗糙度。同時(shí)，其他工藝參數(shù)是在磨粒粒徑基礎(chǔ)上對(duì)工件的表面質(zhì)量產(chǎn)生影響，故金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)對(duì)工件加工結(jié)果的影響程度最大。

3.2金剛石磨料粒度的影響

圖4為金剛石砂帶磨料粒度對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響。由圖4可知：隨著金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)增大，工件的表面粗糙度和材料去除率均逐漸減小。這是由于 Si₃N₄ 陶瓷屬于典型的硬脆材料，當(dāng)金剛石磨料粒度代號(hào)為P1500時(shí)，砂帶上金剛石磨粒粒徑偏大，加工時(shí)切入深度較深，材料在加工過程中的斷裂去除量較大，工件表面的劃痕和凹坑相對(duì)較深，因此工件的材料去除率和表面粗糙度較高2；而隨著金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)增大，磨粒粒徑減小，加工產(chǎn)生的劃痕和凹坑深度減小，進(jìn)而材料去除率和表面粗糙度降低。同時(shí)，金剛石砂帶粒度代號(hào)增加意味著單位面積上磨粒數(shù)量增加，單顆磨粒所承受的磨削載荷變小，切削深度降低，因此材料去除率進(jìn)一步降低。

3.3金剛石砂帶線速度的影響

圖5為金剛石砂帶線速度對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響。由圖5可知：隨著金剛石砂帶線速度增加，工件的表面粗糙度先降低后上升，而材料去除率先上升后降低。這是由于隨著金剛石砂帶線速度增加，單位時(shí)間內(nèi)參與磨削的金剛石磨粒數(shù)量增加，提高了磨粒劃痕交錯(cuò)的概率，減小了材料表面變形，使表面粗糙度降低；同時(shí)，工件表面得到充分磨削，材料去除率提高。但當(dāng)砂帶線速度增加到一定程度后，速度過快會(huì)縮短磨粒與工件的接觸時(shí)間，導(dǎo)致金剛石磨粒不足以與工件表面產(chǎn)生有效磨削（即完全切入被加工工件表面），只會(huì)進(jìn)行劃刻、滑擦，對(duì)工件表面不能進(jìn)行有效的材料去除，因此材料去除率下降，同時(shí)表面粗糙度上升[1；且過快的線速度會(huì)加劇金剛石磨粒的破碎及脫落，使磨料的磨削性能下降，從而進(jìn)一步降低材料去除率。

3.4金剛石砂帶壓力的影響

圖6為金剛石砂帶壓力對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響。如圖6所示：隨著金剛石砂帶壓力增加，工件的表面粗糙度降低，而材料去除率上升。原因是樹脂金剛石砂帶具有柔性特點(diǎn)，當(dāng)砂帶壓力增大時(shí)，砂帶與工件貼合的緊密程度增加，使二者間的接觸面積增大，實(shí)際參與滑擦、耕犁、切削作用的磨粒數(shù)量增多，增加了相鄰磨粒劃痕的交錯(cuò)，工件表面充分且連續(xù)被磨粒磨削，進(jìn)而使工件表面粗糙度降低。同時(shí)，砂帶壓力增加使金剛石磨粒的切削深度和單顆磨粒的切削載荷進(jìn)一步增加，單位時(shí)間內(nèi)材料的去除量增加，因而材料去除率上升。

圖6金剛石砂帶壓力對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響 Fig.6Effect of diamond abrasive belt pressure on surface roughnessandmaterial removal rate

3.5導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的影響

圖7為導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響。由圖7可知：表面粗糙度隨著導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的增加而降低，而材料去除率隨著導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的增加而提高。這是由于工件轉(zhuǎn)速隨著導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的增加而提高，單位時(shí)間內(nèi)工件與砂帶接觸次數(shù)增加，工件表面參與磨削作用的次數(shù)增加：一方面有利于陶瓷圓柱滾子表面材料去除，使工件表面磨削更充分，表面粗糙度下降；另一方面單位時(shí)間內(nèi)工件表面被磨削的次數(shù)增多，使其材料去除量增加，材料去除率上升。

3.6 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子表面形貌分析

選取金剛石砂帶超精加工后的 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子（加工工藝參數(shù)是金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)為P3000、砂帶線速度為 10m/s， 砂帶壓力為 94N， 導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速為300r/min ）與未超精加工的工件進(jìn)行對(duì)比，結(jié)果如圖8所示。通過圖8對(duì)比可以看出：超精加工后的圓柱滾子表面沒有瑕疵且十分光滑，達(dá)到了鏡面效果。

使用超景深三維顯微鏡和白光干涉儀觀察圖8所示超精加工前后的圓柱滾子工件表面形貌，得到超精加工前后的 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子形貌圖，分別見圖9（超景深三維顯微鏡觀測）和圖10（白光干涉儀觀測），其中白光干涉儀測量的輪廓線垂直于滾子軸線。

圖7導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響Fig.7Effectof guide roller speed on surface roughnessand material removal rate

圖8金剛石砂帶超精加工前后的 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子實(shí)物 Fig.8 Si₃N₄ ceramiccylindricalrollerbeforeandaftersuperfinishingof diamondabrasivebelt

圖9超精加工前后的 Si₃N₄ 圓柱滾子形貌（超景深顯微鏡觀測） Fig.9Appearance of Si₃N₄ cylindrical rollerbefore and after superfinishing（ultradepth microscope observation）

對(duì)比圖9a和9b可以看出：超精加工前，工件有較多的表面劃痕和表面凹坑；經(jīng)過超精加工，工件的表面劃痕和表面凹坑已基本消除。由圖10a和圖10b對(duì)比可知：超精加工前工件表面呈現(xiàn)出較深的磨痕和磨削紋理，而超精加工后的工件表面光滑，沒有明顯的磨痕和表面磨削紋理；超精加工前后工件的表面粗糙度分別為0.3124和 0.0452μm 。由圖10還可知：超精加工前表面粗糙度 R_a 變化較為劇烈，超精加工后表面粗糙度 R_a 變化則較為平緩。

圖10超精加工前后的 Si₃N₄ 圓柱滾子形貌（白光干涉儀觀測）

Fig.10Appearance of Si₃N₄ cylindrical roller before and after superfinishing （white light interferometer observation）

4結(jié)論

結(jié)合金剛石砂帶柔性、加工質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)，提出一種金剛石砂帶超精加工 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子的方法，并基于該加工方法進(jìn)行 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子超精加工試驗(yàn)，得出如下結(jié)論：

（1）由正交試驗(yàn)方差分析得出，金剛石砂帶磨料粒度對(duì)工件表面粗糙度的影響最大，砂帶壓力、砂帶線速度和導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的影響依次降低；而對(duì)于材料去除率，金剛石砂帶磨料粒度的影響最大，砂帶線速度、砂帶壓力和導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速的影響則依次降低。

（2）當(dāng)金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)為 P3000 、砂帶線速度為 10m/s， 砂帶壓力為 94N， 導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速為 300r/min 時(shí)，工件表面粗糙度最小值為 0.0452μm 當(dāng)金剛石砂帶磨料粒度代號(hào)為P2000、金剛石砂帶線速度為 20m/s 金剛石砂帶壓力為 94N， 導(dǎo)輥轉(zhuǎn)速為 200r/min 時(shí)，材料去除率最大值為 1.07531μm/min_μ

（3）通過超景深顯微鏡和白光干涉儀對(duì)超精加工前后的 Si₃N₄ 陶瓷圓柱滾子工件表面形貌進(jìn)行觀察，發(fā)現(xiàn)超精加工前工件表面存在劃痕和凹坑，而超精加工后工件表面的劃痕和凹坑基本去除，且表面光滑，沒有磨痕和磨削紋理。

參考文獻(xiàn)：

[1] 何加群.論我國重大技術(shù)裝備軸承的自主安全可控[J].軸承，2022（1）： 1-17. HE Jiaqun. On the independent safety and control of bearings for major technical equipment in China[J].Bearing，2022（1）：1-17.

[2] 姚齊水，楊文，余江鴻，等.彈性復(fù)合圓柱滾子軸承結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)研究[J]. 中國機(jī)械工程，2012，23（24）：2899-2902. YAOQishui，YANGWen，YUJianghong，etal.Research onstructure design of elastic composite cylindrical roller bearing [J].China Mechanical Engineering，2012，23（24）：2899-2902.

[3] 魏延剛，張松哲.鋼制和陶瓷圓柱滾子軸承高速性能的有限元分析[J]. 機(jī)械設(shè)計(jì)，2007（7）：48-50. WEIYangang， ZHANG Songzhe.Finite element analysis of high-speed performanceof steel and ceramic cylindrical roller bearings [J]. Mechanical Design，2007（7）：48-50.

[4] REJITHAR，KESAVAND，CHAKRAVARTHYP，etal.Bearingsfor aerospace applications[J].TribologyInternational，2023，181：1-24.

[5] GUOL，HENKM，THIJSN，etal.Study on the electric discharge behaviour ofa single contact in EV motor bearings [J].Tribology International，2023，187：1-10.

[6] 李頌華，魏超，吳玉厚，等.面向極端工況的 Si₃N₄ 全陶瓷軸承關(guān)鍵技 術(shù)與研究進(jìn)展[J].軸承，2023（9）：1-10. LISonghua，WEIChao，WUYuhou，etal.Key technologyandresearch progress of Si₃N₄ all-ceramic bearings for extreme working conditions [J].Bearing，2023（9）： 1-10.

[7] ZHANGXC，WUD，XIA ZF，etal.Study onsurface fatigue and metamorphic layer of raceway of hybrid ceramic ball bearing in highspeed spindle for machine tool[J].Engineering Failure Analysis，2023， 143：106928.

[8] HUANJ，LI SH，XIA ZX，et al.Experimental study on electric corrosion damage of bearing and solution [J]. Proceedings of the Institution ofMechanical Engineers，Part C：Journal of Mechanical Engineering Science，2022，236（19）：10349-10358.

[9］劉麗斌，于琦，萬磊，等.一種陶瓷圓柱滾子的生產(chǎn)加工方法： CN202010688210.X [P].2020-12-01. LIULibin，YUQi，WANLei， etal.A productionandprocessingmethod ofceramic cylindrical roller：CN202010688210X[P].2020-12-01.

[10]WANG X F，LI X H， MA X L， et al. Advance on surface finishing technology of precision bearing cylindrical rollers [J].The International Journal of Advanced Manufacturing Technology，2023，131 5/6） ： 2341- 2363.

[11］黃賀利，李頌華，吳玉厚，等.雙平面研磨 Si₃N₄ 圓柱滾子的表面質(zhì)量 [J].金剛石與磨料磨具工程，2023，43（3）：371-378. HUANG Heli， LI Songhua， WU Yuhou， et al. Surface quality of double plane ground Si₃N₄ cylindrical rollers [J].Diamond and Abrasives Engineering，2023，43（3）： 371-378.

[12]HE C L，ZHANG J，GENG K，et al.Advances in ultra-precision machining of bearing rolling elements[J].The International Journal of Advanced Manufacturing Technology，2022，122（9/10）： 3493-3524.

[13］周兆忠，李興林，居冰峰，等.陶瓷圓柱滾子超精研磨工藝試驗(yàn)[J].軸 承，2015（12）： 14-18. ZHOU Zhaozhong，LI Xinglin，JU Bingfeng，et al.Experiment on superfine grinding process of ceramic cylindrical roller [J]. Bearing， 2015（12）： 14-18.

[14]LI S C， XIAO G J， WANG Y X， et al. Multi-dimensional ultrasonicassistedbelt grinding on the surfaceintegrityof Inconel 718[J].Journal of Manufacturing Processes，2023（102）： 700-717.

[15]HUANG Y，LIUG， XIAOGJ，et al.Abrasive belt grinding forceandits influence on surface integrity[J].Materials and Manufacturing Processes， 2023，38（7）： 888-897.

[16］劉志環(huán)，王進(jìn)保，陸安.超硬材料砂帶的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢[J].超硬 材料工程，2008，20（6）： 48-52. LIU Zhihuan， WANG Jinbao， LU An. Research status and development trendsof superhard material abrasive belts [J]. Superhard Material Engineering，2008，20（6）： 48-52.

[17］黃云.砂帶磨削技術(shù)的研究現(xiàn)狀和發(fā)展方向簡介[J].金剛石與磨料磨 具工程，2020，40（3）：1-4. HUANG Yun.Brief introduction to the research status and development direction of abrasive belt grinding technology [J].Diamond and Abrasives Engineering，2020，40（3）： 1-4.

[18］王光祖，崔仲鳴，馮常財(cái).金剛石砂帶的工程應(yīng)用[J].超硬材料工程， 2021，33（2）： 35-38. WANG Guangzu， CUI Zhongming，F(xiàn)ENG Changcai.Engineering application of diamond abrasive belts [J].Superabrasives Engineering， 2021，33（2）：35-38.

[19］張疊，黃云. ZrO₂ 工程陶瓷砂帶磨削實(shí)驗(yàn)及工藝研究[J].機(jī)械科學(xué)與 技術(shù)，2015，34（12）：1966-1970. ZHANGDie，HUANGYun.Experimental and processresearch onbelt grinding of ZrO₂ engineering ceramics [J]. Mechanical Science and Technology，2015，34（12）：1966-1970.

[20］高超，王生，吳國榮，等.電鍍金剛石砂帶磨削氧化鋁陶瓷的試驗(yàn)研究 [J].工具技術(shù)，2017，51（10）：40-43. GAO Chao，WANG Sheng，WU Guorong，et al.Experimental study on grinding alumina ceramics with electroplated diamond abrasive belts [J]. Tool Technology，2017，51（10）： 40-43.

[21]LI H，ZOU L，LI Z R，et al. Investigation on abrasive wear of electroplated diamond belt in grinding nickel-based superalloys [J].The International Journal of Advanced Manufacturing Technology，2022， 121（7/8）：4419-4429.

[22]ZHOU K，XIAO GJ，XUJY，etal.Wear evolution of electroplated diamond abrasive belt and corresponding surface integrity of Inconel 718 duringgrinding[J].Tribology International，2023，177：1-14.

[23]GONG H， ZHANG Z G， LIAN M L， et al. Design and verification of flexiblebelt grindingsystem for SiC mirror[C]//Eighth Symposium on NovelPhotoelectronic Detection Technology and Applications， Kunming，China，2021： 12169B.1-12169B.8.

[24]STADNIK T， SIDOROV D，KHARCHENKO A. Investigation of diamond elastic belts characteristics effect on rotary belt grinding process output performance[J].Procedia Engineering，2017，206：1415-1418.

[25]SYREYSHCHIKOVA N V， PIMENOV D Y，GUPTA M K， et al. Relationship between pressure and output parametersin belt grinding of steelsand nickel alloy[J].Materials （Basel），2021，14（4704）： 1-14.

[26]ZHAOJB，WANG S，YINH，et al.Investigation of influence function model and polished surface characteristics during belt polishing polycrystalline aluminate magnesium spinel （PAMS） ceramics [J]. JournalofMaterials Processing Technology，2023，320：1-17.

[27］黃云.現(xiàn)代砂帶磨削技術(shù)及工程應(yīng)用[M].重慶：重慶大學(xué)出版社， 2009：83-89. HUANG Yun. Modern belt grinding technology and engineering applications [M]. Chongqing： Chongqing University Press，20o9：83-89.

[28］李伯民，趙波.現(xiàn)代磨削技術(shù)[M].北京：機(jī)械工業(yè)出版社，2003. LI Bomin， ZHAO Bo.Modern grinding technology [M].Beijing： China MachinePress，2003.

[29］王生，高超，吳國榮，等.基于電鍍金剛石砂帶的鋼化玻璃磨邊試驗(yàn)研 究[J].工具技術(shù)，2017，51（11）：41-45. WANG Sheng，GAO Chao，WU Guorong，et al. Experimental study on tempered glass edging based on electroplated diamond abrasive belt [J]. Tool Technology，2017，51（11）： 41-45.

作者簡介

通信作者：李頌華，男，1977年生，教授、博士生導(dǎo)師。主要研究方向：難加工材料高效精密加工工藝與裝備、高性能數(shù)控機(jī)床主軸系統(tǒng)等。

E-mail：rick_li2000@163.com

（編輯：周萬里）