破壁者尹志堯

2004年，一位60歲的儒雅的科學家從美國硅谷飛抵上海浦東。

在出租車上，他打趣地讓司機猜猜他多大年紀。出租車司機打量他后笑道：“您看起來只有38歲！”他聞言爽朗地大笑：“太好了，以后我就是38歲的人！”

這位科學家，正是被譽為“中國芯片刻蝕機之父”的尹志堯。此刻，他正把人生刻度重置到“中國芯”的起跑線上。

2025年1月15日，在“企業家之夜”的活動現場，81歲的尹志堯手捧鮮花，作為當天晚上年齡最大的獲獎者，接受大家的致敬。

已至耄耋之年的他，還神采奕奕地指揮著北京四中合唱團的學生們，唱響了《中微之歌》。

伴隨著學生們充滿激情的歌聲，關于尹志堯的傳奇故事也悄然展開。

從北大學子到硅谷精英

對許多人來說，“刻蝕機”是一個陌生的詞語。但在高科技領域，它是半導體制造中不可或缺的核心設備之一，更是我國制造“中國芯”的基石。

正是在尹志堯及其團隊的努力下，中國才得以自主生產刻蝕機，并迫使美國取消了對我國出口刻蝕機的禁令。如今，尹志堯和他的團隊研發的刻蝕機，其精度領先于國外一些主要刻蝕機的。

正因如此，很多人說，“尹志堯”這個名字注定會被載入史冊。

1944年，祖籍安徽的尹志堯，出生于北京一個知識分子家庭。由于祖父和父親都曾在國外留學，尹志堯在文化氛圍濃厚的環境中長大，接受了良好的教育。高中畢業后，尹志堯考入中國科學技術大學化學物理系，后在蘭州煉油廠和中國科學院工作。

1978年，尹志堯考入北京大學化學系讀碩士研究生。當時北京大學有國內最先進的計算機，可內存只有128KB。而彼時的尹志堯并不知道，未來有一天，他主持研發的設備，在芯片加工上的工藝水平，相當于在一顆米粒上雕刻出10億個漢字。

1980年，36歲的尹志堯在親戚的幫助下赴美留學。4年后，他以優異的成績拿到美國加利福尼亞大學洛杉磯分校的物理化學博士學位。畢業后的尹志堯，進入美國硅谷半導體巨頭英特爾公司，開啟了他傳奇般的科技人生。工作兩年后，他跳槽到華人林杰屏創建的泛林集團。

在泛林集團工作的5年中，尹志堯從研發部資深工程師做到了資深經理，還開發出了“彩虹號”等離子刻蝕機。有了尹志堯這員干將，泛林集團得以快速發展。在硅谷，各大半導體公司爭相拉攏，欲將尹志堯招入麾下。

1991年，尹志堯接受了美國應用材料公司的邀請，擔任公司總部的首席技術官。在他的牽頭下，應用材料公司相繼研發出多款新型刻蝕機。

在半導體行業深耕20年，尹志堯一共擁有280多項專利，這個行業有一半企業都用過他參與研發的設備。基于他的成就和對應用材料公司的貢獻，尹志堯被任命為公司副總裁。

此時，尹志堯已經過上了財富自由的生活。在硅谷打拼的華人雖然為數不少，但有如此成就者實屬鳳毛麟角，尹志堯堪稱硅谷傳奇。

2004年，60歲的尹志堯面臨退休。在世人看來，他在異國他鄉辛苦打拼半生，如今優渥清閑的退休生活馬上可以實現，是到該享受人生的時候了。

然而，命運卻在這時，給了尹志堯新的選擇。

60歲的熱血

這一年，在一次國際半導體設備展覽會上，尹志堯邂逅了在上海擔任領導職務的江上舟。正是這次見面，改變了尹志堯的人生軌跡。

江上舟是尹志堯在北京四中的校友，畢業于清華大學無線電專業的他，很早就意識到發展集成電路的重要性。

當時，我國的芯片來源主要靠進口，而以美國為首的西方國家，動不動就把芯片納入管制范疇。江上舟深知，要打破這個局面，變被動為主動，最好的辦法就是實現芯片的自主生產。

當時中芯國際已經落戶上海，如果刻蝕機也能實現國產化，那“中國芯”的制造必將如虎添翼。于是，江上舟向刻蝕機專家尹志堯發出了邀請，他誠懇地說：“回來吧，我們一起干，我已經身患癌癥，哪怕豁出這條命，也要造出中國自己的刻蝕機，這樣就再也不怕外國人卡我們的脖子了。”

聽到老同學的肺腑之言，尹志堯的血液沸騰了。他想到自己的父輩，他們不管面對多少誘惑，都堅定地選擇回國，積極投身于國家建設之中。而自己這20年來，一直在美國工作，沒有用自己的學識來回報祖國。

在美國生活多年的尹志堯心里很清楚，即便美國再發達，也無法給他帶來歸屬感。只有中國才是他的根，這一點永遠不會變。

現在，是時候回去為祖國效力了。盡管沒有任何創業經驗，可60歲的尹志堯，毅然帶領15人的團隊飛抵上海，在浦東創辦了中微半導體設備公司（以下簡稱“中微公司”）。

那時，我國的集成電路產業剛剛起步，資金、人才、設備方面都存在較大缺口，加上刻蝕機的研制與生產極其復雜，這些因素使得尹志堯的創業之路無比坎坷艱辛。

可無論多大的困難，都阻礙不了他為祖國研制刻蝕機的激情和決心。政府投入的資金消耗殆盡后，他開始四處融資。沒有做微觀設備所需的專業技術人才，他就從各大院校招聘相關專業的學生來培養。

2007年，中微公司第一臺CCP（電容耦合等離子體）刻蝕機交付成功，這可是中國自己制造的大國重器啊！這也標志著“中國芯”的研發進程，取得了巨大突破。

對于刻蝕機，尹志堯有過一個比喻。他說芯片制造，好比在人的頭發絲的幾千分之一，甚至幾萬分之一的尺度上，蓋一座五六十層的大樓。這是需要多部門、多設備協同作戰的。其中最關鍵的幾種設備里，薄膜機負責鋪好材料，光刻機在上面畫好花紋，然后刻蝕機再把多余的地方剪掉，像剪窗花一樣。

隨著科技的發展，芯片的體積越來越小，精度越來越高，加工步驟越來越多，刻蝕機的作用也就越來越大。

從被動防御到主動破局

逆境突圍數年后，尹志堯帶著他的團隊攻克了一個個難關，將刻蝕機的精度從14納米推進到7納米，再提升到5納米，締造了一個個中國傳奇。

然而，這份亮眼的成績單，卻讓尹志堯的幾個前東家感受到了壓力。

最先跳出來的是應用材料公司。2007年10月，他們向法院提出訴訟，狀告尹志堯和中微公司侵犯商業秘密。理由是，中微公司的核心技術人員都曾在硅谷的相關公司工作。

作為芯片制造裝備研發領域的專家，尹志堯深知專利技術的壁壘，又怎會犯這種原則性的錯誤？從研發的第一天起，他就要求團隊成員不光要避開行業內的幾百個技術專利，還要避開原公司的所有設計方案。這樣做，既能避免糾紛，也可以保護中微公司的知識產權。

這場官司打了兩年半，美國律師在徹查了中微公司內部的600多萬份文件后，證實中微公司的刻蝕機技術全部是自己研發的。鐵證如山，應用材料公司只得鎩羽而歸。

而在中微公司與應用材料公司的官司還未了結前，泛林集團也向法院起訴中微公司侵權。當起訴被駁回后，中微公司以侵犯商業機密為由，向泛林集團提起了訴訟。

泛林集團萬萬沒想到，這支回旋鏢最終還是扎到了自己身上。法院判決泛林集團侵權責任成立，勒令泛林集團銷毀與中微公司刻蝕機技術相關的所有文件和照片，此事才算塵埃落定。

都說對手是最好的老師，多年來，美國在芯片技術方面的“卡脖子”舉措，反而極大地推動了我國集成電路產業自主研制的進程。

作為世界一流的科學家，尹志堯有著非同一般的眼光與格局。比如，中微公司采取的是員工全員持股制。

在中微公司市值到達1000億元那天，全公司750人中，有50人的身家超過1億元；375人的身家在1000萬元到1億元之間；就連入職才兩三年的新員工，也有100萬元到1000萬元的身家。出乎意料的是，作為中微公司創始人的尹志堯，卻只持有公司0.7%的股份。

從硅谷精英到中國民族工業的重要建設者，尹志堯用20多年的時間詮釋了什么是赤子之心。

從花甲之年歸國創業，到帶領中微公司打破國際壟斷，尹志堯的故事不僅是中國芯片崛起的縮影，更是一曲永不言敗的科技戰歌。

“芯片戰爭”未有終局，但尹志堯的信念始終如一。“哪怕我們起步晚了一些，只要咬牙堅持下去，就一定能做到世界前沿。”尹志堯說。

中國科技的崛起之勢無法阻擋。正如尹志堯永駐“38歲青春”，“中國芯”將永遠年輕，永遠令人熱血沸騰！

（匡 廬摘自微信公眾號“最華人”，本刊節選）