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杠桿-復(fù)橋式3D壓電微定位平臺(tái)設(shè)計(jì)與分析

2025-04-17 00:00:00金俊杰王碩孫鳳郝巖松徐方超張曉友
關(guān)鍵詞:有限元

關(guān)鍵詞:微定位平臺(tái);小行程;三自由度;柔性鉸鏈;杠桿機(jī)構(gòu);復(fù)橋機(jī)構(gòu);有限元;最大誤差

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