面陣對稱翻轉(zhuǎn)變換用于F-P 微小角度測量系統(tǒng)

摘 要： 法布里珀羅（F-P） 標(biāo)準(zhǔn)具應(yīng)用于位移和角度測量時，其干涉成像同心圓環(huán)圓心坐標(biāo)的準(zhǔn)確計算對測量結(jié)果具有關(guān)鍵影響。針對面陣CCD 傳感器上干涉成像同心圓環(huán)在移動時存在的誤差，利用干涉成像同心圓環(huán)有效信息，提出一種面陣像元正反細(xì)分的對稱翻轉(zhuǎn)算法，在理論分析的基礎(chǔ)上進(jìn)行算法和實驗驗證。將該算法應(yīng)用于F-P 微小角度測量系統(tǒng)并進(jìn)行比對實驗研究。實驗結(jié)果表明該算法可將圓心坐標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)差減小至0.002 8 個像素單位；在150″測量范圍內(nèi)，F(xiàn)-P 微小角度測量系統(tǒng)的測量值與ELCOMAT HR 自準(zhǔn)直儀兩者的示值誤差不大于0.38″，經(jīng)擬合修正后兩者示值誤差不大于0.06″，測量準(zhǔn)確度得到有效提高。

關(guān)鍵詞： F-P 標(biāo)準(zhǔn)具; 對稱翻轉(zhuǎn)變換; 像元平滑細(xì)分; 圓心坐標(biāo)計算; 微小角度測量

中圖分類號： TB9; TG806 文獻(xiàn)標(biāo)志碼： A 文章編號： 1674–5124（2025）01–0111–08