天津大學(xué)半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵耗材國產(chǎn)化獲技術(shù)突破

天津大學(xué)先進(jìn)材料與高性能制造團(tuán)隊在氮化鋁、氮化硅陶瓷半導(dǎo)體設(shè)備耗材高精度加工基礎(chǔ)與應(yīng)用研究方面取得新突破。其自主研發(fā)的主軸微納調(diào)控超精密制造系統(tǒng)，為硬脆材料高精度低損傷加工提供了重要的技術(shù)支撐。相關(guān)研究成果近日在線發(fā)表于《極端制造》。