超高溫曲面金屬基厚/薄膜傳感器絕緣層及其制備方法
2023-11-18 03:34:03
傳感器世界 2023年7期
申請?zhí)? 202310316429.0
【申請日】2023.03.29
【公開號】CN116024570A
【公開日】2023.04.28
【分類號】C23C14/28;C23C14/08;C23C24/08;C23C28/00
【申請人】中北大學
【發(fā)明人】董和磊; 王夢竹; 譚秋林; 熊繼軍
【摘 要】本發(fā)明公開了一種超高溫曲面金屬基厚/薄膜傳感器絕緣層及其制備方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有金屬基厚/薄膜傳感器絕緣層在高溫環(huán)境下導致傳感器的可靠性降低、制備成本高、制備過程復雜的問題。一種超高溫曲面金屬基厚/薄膜傳感器絕緣層，包括層疊于曲面合金基底上表面的介質/金屬混合漸變過渡膜層、層疊于介質/金屬混合漸變過渡膜層上表面的自由電子阻擋膜層、層疊于自由電子阻擋膜層上表面的第一介質膜層、層疊于第一介質膜層上表面的第二介質膜層、層疊于第二介質膜層上表面的第三介質膜層、層疊于第三介質膜層上表面的敏感膜層。本發(fā)明適用于曲面金屬基厚/薄膜傳感器。
